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촉매 및 고이온화 에너지를 이용한 반도체 산업 에칭 공정 Non-CO₂가스(SF6) 감축기술 매뉴얼 개발을 위한 배출량 정량화와 한계비용 평가기법 개발 및 배출 감축 전략
Developing Emission Quantifying and Marginal Cost Evaluation Techniques and Emission Reduction Strategy for Designing Manual for Emission Reduction Technique of Semiconductor Etching Process Non-CO₂ Gases (SF6) Using Catalyst and High Ionization Energy 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 중앙대학교
Chung Ang University
연구책임자 김정인
참여연구자 김영신 , 서민석 , 성종환 , 정성훈 , 임효숙 , 손희철 , 김새롬 , 김정훈 , 박현준
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-04
주관부처 환경부
Ministry of Environment
등록번호 TRKO201800001966
DB 구축일자 2018-12-15
키워드 기후변화.감축기술.외부감축 실적 등록제도.경제 분석.한계 비용.매뉴얼.climate change.Non-CO₂.SF₆.reduction technology.CDM.Marginal Cost.Manual.

초록

개발 목적 및 필요성
기존에 개발되어 있는 방법론을 추진하고자 하는 감축사업에 적용하고자 할 경우에는 방법론에서 채택한 기술, 베이스라인 설정, 모니터링 방법론 등이 동일해야 한다. 기 개발된 SF6 감축사업에 관련된 방법론들은 전력설비에서 사용되는 SF6 의 회수, LCD공정에서 발생하는 SF6의 소각 등과 관련되어 있다.
반도체 공정에서 발생하는 SF6을 고이온화 에너지를 이용하는 처리 방법은 방법론으로 인정을 받은 상태이지만 다른 연관 해

Abstract

IV. Results
The main purpose of this study is to estimate the marginal cost of electronic/semiconductor industry and to analysis and to prepare carbon offsets for greenhouse gas reduction.
The part of marginal cost of this study focuses on deriving the marginal cost by the development of new t

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 요 약 서 ... 3
  • 요 약 문 ... 6
  • SUMMARY ... 14
  • 목차 ... 16
  • 표목차 ... 20
  • 그림목차 ... 24
  • 제1장 서론 ... 28
  • 제1절 연구배경 ... 30
  • 제2절 연구 내용 및 목적 ... 31
  • 제2장 반도체 산업 관련 현황과 변화 ... 32
  • 제1절 포스트-교토 체제 구축 현황 ... 34
  • 1. 더반 회의(COP 17)의 주요 합의 내용 ... 34
  • 2. 도하 회의(COP 18)의 주요 합의 내용 ... 35
  • 3. 국제 협상 결과의 시사점 및 향후 전망 ... 37
  • 제2절 온실가스·에너지 목표관리제 시행 ... 38
  • 1. 개요 ... 38
  • 2. 운영 체계 ... 39
  • 3. 목표설정 및 이행관리 ... 40
  • 4. 추진 일정 ... 42
  • 5. 부문별 현황 ... 43
  • 제3절 배출권거래제도 도입 관련 주요 내용 ... 49
  • 1. 배출권 거래제 도입 배경 ... 49
  • 2. 배출권 거래제 도입 현황 ... 49
  • 3. 배출권거래제의 주요 내용 ... 51
  • 제4절 해외 배출권거래제도 운영현황 분석 ... 58
  • 1. EU ETS(유럽 배출권거래제도) ... 58
  • 2. 캘리포니아 배출권거래제 ... 60
  • 3. 호주 탄소가격제 ... 61
  • 4. 중국 배출권거래제도 시범사업 ... 63
  • 제5절 배출권거래제 하 상쇄제도 운영 현황 분석 ... 71
  • 1. 호주 ... 71
  • 2. 캘리포니아 ... 82
  • 3. EU ... 86
  • 4. 중국 ... 87
  • 5. 시사점 ... 89
  • 제6절 유럽의 경제 악화에 따른 거래제도 시장의 하락 현황 ... 91
  • 1. 거래제도 시장 관련 정책의 변화 ... 91
  • 2. 거래가격 및 배출권 발급량의 변화 ... 92
  • 제3장 반도체 기업의 기후변화 대응과 탄소상쇄 프로젝트 ... 94
  • 제1절 국내 반도체 기업의 기후변화 대응 현황 ... 96
  • 1. 삼성 ... 96
  • 2. 하이닉스 ... 99
  • 3. 엘지 ... 100
  • 4. 시사점 ... 100
  • 제2절 해외 반도체 기업의 기후변화 대응 현황 ... 101
  • 1. 유럽 반도체 산업협회(ESIA) ... 101
  • 2. 노키아(Nokia) ... 104
  • 3. 지멘스(Gemens) ... 109
  • 4. 필립스(Royal Philips Electronics) ... 114
  • 5. 일본 전기전자 온난화 대응 연합회 ... 119
  • 6. JEITA 디스플레이 디바이스 부회 ... 128
  • 7. 파나소닉(Panasonic) ... 131
  • 8. 카시오 계산기 주식회사(CASIO COMPUTER CO., LTD) ... 133
  • 9. 도시바 라이테크(Toshiba Lighting & Technology Co.) ... 134
  • 10. 캐논(Canon Inc.) ... 137
  • 11. IBM ... 140
  • 12. 인텔 ... 141
  • 13. 종신국제(中芯, SMIC) ... 141
  • 14. 상해 NEC 회사 ... 142
  • 15. ZTE 중씽 통신 주식 유한 회사 ... 144
  • 16. 기타 ... 145
  • 17. 한국 반도체 기업에 대한 시사점 ... 147
  • 18. Non-CO₂ 저감 국내기술 개발 동향 ... 148
  • 제3절 기업의 탄소상쇄 프로젝트 유형 ... 151
  • 1. 배경 ... 151
  • 2. 탄소상쇄의 정의 ... 151
  • 3. 해외 기업들의 탄소상쇄 사업 ... 155
  • 4. 전자산업에 적용 가능한 탄소상쇄 추진 사례 ... 168
  • 5. 기타 산업의 탄소상쇄 사례 ... 194
  • 6. 감축사업(Offset)과 크레딧(Credits)거래 ... 197
  • 제4장 반도체 산업의 한계저감 비용 ... 210
  • 제1절 선행 연구 검토 ... 212
  • 제2절 한계저감 비용 추정의 개요 ... 215
  • 제3절 F-가스 감소를 위한 연구들 ... 217
  • 제4절 비용 산출을 위한 경제적 및 기술적 가정 ... 229
  • 제5절 한계저감비용 추정방법론 ... 232
  • 1. 한계저감비용(MAC, marginal abatement cost) ... 232
  • 2. 한계저감비용 추정모형 ... 233
  • 제6절 반도체산업의 한계저감비용 추정 ... 243
  • 제7절 반도체 제조분야 ... 245
  • 제8절 반도체 제조과정에서의 배출 ... 247
  • 제9절 사용한 자료와 중요한 분야별, 지역별 경향 ... 248
  • 제10절 배출 추정과 가정 ... 250
  • 제5장 회피수단과 기술적 비용분석 ... 252
  • 제1절 열경감시스템 (thermal abatement system) ... 256
  • 제2절 촉매 경감 (Catalytic Abatement) ... 257
  • 제3절 플라즈마 경감(Plasma abatement) ... 258
  • 제4절 NF3 원격 챔버 정화 (NF3 remote chamber clean) ... 259
  • 제5절 가스 교체(Gas Replacement) ... 261
  • 제6절 프로세스 최적화(Process Optimization) ... 262
  • 제6장 한계저감 비용 분석 ... 264
  • 제1절 한계저감비용 ... 266
  • 1. 반도체 산업의 예상 배출량과 한계비용 ... 267
  • 2. 촉매감축과 비용효율성 ... 269
  • 3. 반도체 산업의 F-온실가스 한계비용 ... 270
  • 제2절 방법론적 접근 ... 273
  • 제3절 가상시설의 정의 ... 274
  • 제4절 기술적인 효과성 평가 ... 275
  • 제5절 저감 옵션의 경제적 특성 ... 277
  • 제6절 저감 프로젝트 비용과 편익 추정 ... 279
  • 제7절 한계저감 비용 분석결과 ... 280
  • 제8절 반도체 온실가스 저감기술의 한계저감비용 추정 매뉴얼 ... 282
  • 제9절 불확실성 및 한계점 ... 284
  • 제10절 반도체 공정의 처리기술별 한계비용 ... 285
  • 제7장 반도체 산업과 CDM ... 298
  • 제1절 전 세계 CDM사업 추진 현황 ... 300
  • 제2절 국내 산업의 Non-CO₂ 저감노력 ... 303
  • 제3절 CDM 관련 국내외 연구 동향 검토 ... 305
  • 1. 방법론 개발의 중요성 ... 305
  • 2. 분야별 CDM 사업화 방안 모색 ... 305
  • 3. 포스트-교토 CDM 변화 가능성 주목 ... 308
  • 제4절 반도체 산업의 CDM 추진 필요성 ... 310
  • 1. 탄소상쇄의 중요성 증대 ... 310
  • 2. 반도체 산업 부분의 CDM 활용 가능성 ... 312
  • 3. Non-CO₂ 관련 CDM 사업 ... 318
  • 4. Non-CO₂ 가스 CDM 투자규모 ... 323
  • 제5절 SF6 가스 관련 CDM 방법론 검토 ... 326
  • 1. 전력계통에서의 SF6배출 저감 ... 326
  • 2. 마그네슘산업에서의 SF6cover gas를 다른 gas로 교체 ... 327
  • 3. LCD 제조운전에서 SF6 감축을 위한 감축장비 사용 ... 329
  • 4. Test 시설의 가스절연 전력 설비에서 SF6 회수 ... 331
  • 제6절 SF6 가스 CDM 추진 사례 검토 ... 333
  • 1. LCD 제조운영에서의 SF6 배출량 감소를 위한 사용저감장치의 사용 ... 334
  • 2. 삼성전자 SF6저감 프로젝트 ... 335
  • 3. 천안의 LCD제조공정에서 SF6배출량 저감 ... 336
  • 제7절 일본 반도체 기업의 CDM 사업 추진현황 ... 338
  • 제8장 결론 및 요약 ... 340
  • 제9장 참고문헌 ... 344
  • 부록 ... 356
  • 끝페이지 ... 359

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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