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NTIS 바로가기주관연구기관 | 명성씨엠아이 |
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연구책임자 | 김현호 |
참여연구자 | 김병수 , 노학재 , 박상용 , 안주형 , 장순용 , 박상준 , 주홍권 , 문정미 , 최규홍 , 이원영 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-12 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800022605 |
과제고유번호 | 1485014844 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2018-06-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800022605 |
2. 연구개발 목표 및 달성도
○ 최종목표
반도체 공정에서 발생하는 배가스(PFCs, SF6, NF3)저감을 위한 촉매시스템 및 열 에너지 회수와 2차 부산물을 효과적으로 처리하기 위한 최적 후처리 기술개발(최종 30CMM급) 및 통합 SYSTEM 기술 확보
▸ 기술 적용처 : 반도체 공정 내부 1차 배가스 처리 후단 라인업
▸ 배가스 목표 저감율
- HF/HCl : 처리효율 98% 이상 처리
- 열 회수율 85% 이상 / 에너지 원단위 절감 30
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