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NTIS 바로가기주관연구기관 | 파인텍 |
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연구책임자 | 정재칠 |
참여연구자 | 노영석 , 장석준 , 육종묵 , 전종필 , 김정은 , 전오성 , 김동현 , 장성민 , 김택우 , 하성용 , 고형철 , 이충섭 , 이병성 , 문종철 , 공동욱 , 김세종 , 고원환 , 최장우 , 임진혁 , 임주환 , 조민재 , 정수정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800023110 |
과제고유번호 | 1485013154 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2018-06-30 |
키워드 | 온실가스.불화가스.재활용.분리막.Greenhouse gases.Fluorinated gases.CMS.Recycling.Membrane. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800023110 |
개발 목적 및 필요성
세계최고의 전자산업 배출 불화가스 분리회수 통합시스템 기술
- 3,000L/min, SF6 회수율 95%, 500시간 운전
연구개발결과
❍ Pilot급 PFCs 분리회수 평가용 시스템 기술 개발
✓ 3,000L/min Pilot급 통합 시스템 제작
✓ PFCs 분리회수 거동 및 공정변수 영향 고찰
❍ PFCs 분리회수 통합 시스템 기술 개발
✓ Water Cyclone, filter, CMS 분리막 모듈 장착으로 시스템 구축
✓ 통합시스템 운전 최적화 연구
Ⅳ. Results
The achievements of the previous three years are as follows: i) 1st year: pilot-class evaluation system design and backbone line construction (100 L/min); ii) 2nd year: achievement of 50% SF6 recovery rate for the 100 L/min class; iii) 3rd ye
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