[보고서]전자산업 배출 불화가스 분리/정제/회수 및 재이용 통합시스템 개발

정재칠

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전자산업 배출 불화가스 분리/정제/회수 및 재이용 통합시스템 개발

Integrated system development for recovering and recycling of perfluorocompound gases in electronics industry

보고서상세정보
과제명	전자산업 배출 불화가스 분리/정제/회수 및 재이용 통합시스템 개발
주관연구기관	파인텍
연구책임자	정재칠
참여연구자	노영석, 장석준, 육종묵, 전종필, 김정은, 전오성, 김동현, 장성민, 김택우, 하성용, 고형철 ...
보고서유형	최종보고서
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	2016-07
과제시작년도	2015
주관부처	환경부 Ministry of Environment
등록번호	TRKO201800023110
과제고유번호	1485013154
사업명	글로벌탑환경기술개발사업
DB 구축일자	2018-06-30
키워드	온실가스.불화가스.재활용.분리막.Greenhouse gases.Fluorinated gases.CMS.Recycling.Membrane.
DOI	https://doi.org/10.23000/TRKO201800023110

초록
▼

개발 목적 및 필요성
세계최고의 전자산업 배출 불화가스 분리회수 통합시스템 기술
- 3,000L/min, SF6 회수율 95%, 500시간 운전

연구개발결과
❍ Pilot급 PFCs 분리회수 평가용 시스템...

개발 목적 및 필요성
세계최고의 전자산업 배출 불화가스 분리회수 통합시스템 기술
- 3,000L/min, SF6 회수율 95%, 500시간 운전

연구개발결과
❍ Pilot급 PFCs 분리회수 평가용 시스템 기술 개발
✓ 3,000L/min Pilot급 통합 시스템 제작
✓ PFCs 분리회수 거동 및 공정변수 영향 고찰
❍ PFCs 분리회수 통합 시스템 기술 개발
✓ Water Cyclone, filter, CMS 분리막 모듈 장착으로 시스템 구축
✓ 통합시스템 운전 최적화 연구 및 장기 운전 성능 평가
❍ 세계최고의 전자산업 배출 불화가스 분리회수 통합시스템 기술
✓ 3,000L/min, SF6 회수율 95%, 500시간 운전

성능사양 및 기술개발 수준
✓ 3,000L/min Pilot급 통합 시스템 제작
✓ PFCs 분리회수 거동 및 공정변수 영향 고찰
✓ Water Cyclone, filter, CMS 분리막 모듈 장착으로 시스템 구축
✓ 통합시스템 운전 최적화 연구 및 장기 운전 성능 평가
✓ 3,000L/min, SF6 회수율 95%, 500시간 운전

활용계획
- 본 연구개발에서 개발될 전자산업 배출 불화가스 분리회수처리 및 재활용 통합시스템은 그 자체로 전자산업 Dry Etching 배출 불화가스 분리회수 및 처리 기술로 적용가능
- 본 연구개발에서 개발될 통합시스템은 그 자체로 또는 일부 수정된 형태로 전기산업 절연가스(SF6) 회수공정이나, Magnesium 등의 금속산업에서의 SF6, CO2 회수 공정으로 적용 가능할 것으로 판단.
- 개발될 단위공정인 Water Cyclone, filter, CMS 막모듈은 그 자체로 다양한 활용 공정을 갖고 있다고 판단. 예를 들면 CMS 막모듈은 O2/N2 분리, CO2 분리, 가스산업 고순도화 공정 등에 활용 가능.

( 출처 : 요약서 4p )

Abstract
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Ⅳ. Results
The achievements of the previous three years are as follows: i) 1^st year: pilot-class evaluation system d...

Ⅳ. Results
The achievements of the previous three years are as follows: i) 1^st year: pilot-class evaluation system design and backbone line construction (100 L/min); ii) 2^nd year: achievement of 50% SF₆ recovery rate for the 100 L/min class; iii) 3^rd year: achievement of 80% SF₆ recovery rate for the 100 L/min class; ⅳ 4^th year: the design and construction of a prototype-class integrated waste management system (3,000 L/min) and its basic operation. At present,the system is in operation at 3,000 L/min, and its recovery rate exceeds 85%. The objective of the ongoing 5^th year is the design and construction of a prototype-class integrated waste management system (3,000 L/min) and its basic operation. At present, the system is in operation at 3,000 L/min, and its recovery rate exceeds 95%.

( 출처 : SUMMARY 14p )

목차
Contents
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표 / 그림 (141)

참고문헌

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전체 참여 연구원

상세정보
참여 연구원	노영석, 장석준, 육종묵, 전종필, 김정은, 전오성, 김동현, 장성민, 김택우, 하성용, 고형철, 이충섭, 이병성, 문종철, 공동욱, 김세종, 고원환, 최장우, 임진혁, 임주환, 조민재, 정수정,

과제요약정보
과제명(ProjectTitle) :	-
연구책임자(Manager) :	-
과제기간(DetailSeriesProject) :	-
총연구비 (DetailSeriesProject) :	-
키워드(keyword) :	-
과제수행기간(LeadAgency) :	-
연구목표(Goal) :	-
연구내용(Abstract) :	-
기대효과(Effect) :	-

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