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국가RnD연구보고서의 원문 비공개 사유

1. 「산업기술의 유출방지 및 보호에 관한 법률」 제2조제2호에 따른 국가
    핵심기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
2. 「소재ㆍ부품ㆍ장비산업 경쟁력강화를 위한 특별조치법」 제2조 제3호에
    따른 핵심전략기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
3. 법 제21조제2항에 따라 보안과제로 분류된 연구개발과제를 수행한 경우
4. 연구개발기관의 장이 해당 연구개발성과에 대하여 지식재산권을 취득
    하려는 경우
5. 외국의 정부ㆍ기관ㆍ단체와의 협정ㆍ조약ㆍ양해각서 등에 따라 해당
    연구개발기관의 장이 비공개를 요청하는 경우
6. 「대ㆍ중소기업 상생협력 촉진에 관한 법률」 제24조의 2에 따라 중소
    기업이 연구개발성과를 임치한 경우
7. 그 밖에 영업비밀 보호 등 정당한 사유가 있는 경우

※ 국가연구개발혁신법 시행령 (2022.1.1 시행)에 의해 추후 공개로 전환될
    가능성은 있습니다.

과제관리기관과의 협의를 통하여 비공개 기한(3년)이 만료된 보고서를 공개로
전환할 수 있도록 계속적으로 관리되고 있으며, 현재 비공개 처리된 보고서의
열람이 어려운 점 양해 부탁드립니다.

보고서 상세정보

전자산업 배출 불화가스 회수용 CMS 중공사 분리막 및 막모듈 개발

Development of CMS hollow fiber membrane for recovering and recycling of perfluorocompound gases in electronics industry

과제명 전자산업 배출 불화가스 회수용 CMS 중공사 분리막 및 막모듈 개발
주관연구기관 에어레인
연구책임자 하성용
참여연구자 고형철, 이병성, 공동욱, 김세종, 고원환, 이충섭, 최장우, 임진혁, 조민재, 문종철, 임주환 ...  
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2016-07
과제시작년도 2015
주관부처 환경부
Ministry of Environment
등록번호 TRKO201800023112
과제고유번호 1485013157
사업명 글로벌탑환경기술개발사업
DB 구축일자 2018-06-30
키워드 불화가스.회수.탄소분자체.중공사.분리막.Fluorinated gases.recovery.carbon molecular sieve.hollow fiber.membrane.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201800023112
초록

개발 목적 및 필요성
전자산업에서 배출 되는 불화가스의 농축 및 재사용이 가능한 CMS 중공사막 모듈개발을 통해 SF6의 회수/재이용에 대한 기술의 접목 및 연계방안이 반도체 및 디스플레이 분야에 필요함....

Abstract

Ⅳ. Results
- N2 permeance of CMS hollow fiber membrane :
Target 30 GPU, Performance 32.3 GPU
- N2/S...

목차
Contents

표 / 그림 (114)