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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광주과학기술원 Gwangju Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 박기홍 |
참여연구자 | 조희주 , 곽노현 , 송한결 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-02 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 광주과학기술원 Gwangju Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO201800035665 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | 미세입자.실시간 측정.질량 분석기.화학성분.창업리더양성.Aerosol.Real-time measurement.Mass specrometer.Chemical component.Foundation. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800035665 |
- 반도체공정의 불량률을 줄이기 위한 미세입자 실시간 자동 측정장치 개발
- 창업을 위한 투자 유치 IR (Investor Relations) 발표
- 미세입자의 실시간 화학성분 분석을 통해 향상된 미세입자 모니터링 시스템 구축
( 출처: 보고서 초록 3p )
Ⅱ. Purpose
- Industrial companies try to decrease yield loss in semiconductor manufaturing because fine dust is one of the major problems.
- Source, formation and health effects of fine dust are identified through determining chemical componets of fine dust.
Ⅲ. Result of Foundation
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