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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 권오형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-02 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800036802 |
DB 구축일자 | 2018-08-04 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036802 |
기술개발목적
○ 본 과제에 앞서 수행한 연구는 반도체산업용 식각장비 내 플라즈마 거동 분석을 위한 모니터링 장치 및 알고리즘 개발임
- 모니터링 장치는 주로 가시광 파장이나, 고주파 신호를 센싱할 수 있었으며, 데이터 처리는 MATLAB을 이용하여 분석함. 특히 데이터 처리 중 주성분분석 알고리즘을 활용하여 예측모델을 개발함.
- 금속 3D프린팅 장비도 유사하게 가시광 영역의 촬영 이미지를 매 층마다 획득할 수 있고, 이미지 분석을 통하여 공정진행상황을 예측가능한 모델을 딥러닝 기법을 활용하여 개발하고자 함<
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