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Kafe 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김철호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039523 |
과제고유번호 | 1415141926 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 초정밀.위치결정.미세진동.제어.스테이지. |
□ 핵심기술
초정밀 스테이지의 기술 개발과 더불어 주요 오차 원인 인 미세 진동을 제어하여 외부진동과 내부진동을 제어하여 초정밀 위치 결정 기술 개발
□ 최종목표
신성장동력장비에 적용될 초정밀 위치 결정기술개발로서 아래 스테이지에 대한 초정밀 위치 결정 기술 개발을 목표로 함
- 디스플레이용 대행정 스테이지
- 반도체용 이중서보 스테이지
- 반도체용 자기부상 평면구동 스테이지
- 바이오 메디컬용 나노 정밀 시편 스테이지
□ 개발내용 및 결과
- 나노급 정밀도 성능을 갖는
□ 핵심기술
초정밀 스테이지의 기술 개발과 더불어 주요 오차 원인 인 미세 진동을 제어하여 외부진동과 내부진동을 제어하여 초정밀 위치 결정 기술 개발
□ 최종목표
신성장동력장비에 적용될 초정밀 위치 결정기술개발로서 아래 스테이지에 대한 초정밀 위치 결정 기술 개발을 목표로 함
- 디스플레이용 대행정 스테이지
- 반도체용 이중서보 스테이지
- 반도체용 자기부상 평면구동 스테이지
- 바이오 메디컬용 나노 정밀 시편 스테이지
□ 개발내용 및 결과
- 나노급 정밀도 성능을 갖는 외란에 강인한 중대형 스테이지 및 반도체 스테이지 설계 기술 개발 완료
- 초정밀 위치 결정을 위하여 고등 알고리즘을 포함하며 방진,제진 등 진동 제어 기술을 포함한 디스플레이용 및 반도체용 스테이지 개발 완료
□ 기술개발 배경
초정밀 스테이지는 정부 주도의 신성장 동력 사업 중 나노급 초정밀 설비 개발의 핵심기술로 그 수요가 증대되고 있으며, 나노 가공/측정, 차세대 반도체/디스플레이, 그린 수송 장비 등의 새로운 산업 분야의 핵심 기반 기술로의 선점과 시장 지배력 확보가 시급함
□ 핵심개발 기술의 의의
- 기존 스테이지의 개발은 스테이지의 정밀도를 향상시키기 위하여 하드웨어 성능을 높이는데 치중하였음.
- 기존 스테이지를 이용한 진동 제어를 통한 제어는 고속 및 정밀하게 움직이는 스테이지의 진동 제거에 한계를 가지지만 반능동형 진동제어를 통하여 고송 운전 시 빠른 동하중 제어와 정확한 미세진동 제어가 가능함
□ 적용 분야
- 초정밀 스테이지 분야에서 미세 진동 제어 기술은 제진 주파수가 수 Hz 이내를 대상으로 하는 시스템에 적용 가능하여 선박, 빌딩, 교량 등 많은 산업분야로의 확대가 가능함
( 출처: 최종보고서 초록 - 3. 개발결과 요약 5p )
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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