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보고서 상세정보

차세대 반도체 장비용 핵심부품(진공펌프, 히터, 비젼 모듈) 개발을 위한 시험평가 시스템 구축

과제명 차세대 반도체 장비용 핵심부품(진공펌프, 히터, 비젼 모듈) 개발을 위한 시험평가 시스템 구축
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2017-05
과제시작년도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800040201
과제고유번호 1711041076
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2018-10-13
키워드 부품 평가시스템.진공펌프. 히터.비젼유닛.불확도.
초록

핵심기술
반도체 핵심 부품 (펌프, 히터, 비젼 모듈분야) 육성을 위한 수요연계 성능평가 기술개발

최종목표
- 핵심 부품 (펌프, 히터, 비젼 모듈분야) 성능 평가 시스템 구축
- 핵심 부품 핵심 사양 검...

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