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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)코리아스타텍 |
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연구책임자 | 김원식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040216 |
과제고유번호 | 1415146817 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 에칭.파우더.용사코팅.척킹력.실링.연마. |
핵심기술
내 플라즈마/고밀도 세라믹 파우더, 치밀한 용사 코팅층을 갖는 용사 코팅, 전극 패터닝 및 고 절연성 실링기술
최종목표
□ 파우더 개발 및 플라즈마 용사 코팅 공정 기술 확보
1) UHD급 대면적 디스플레이 패널 식각 장비 및 증착 장비 핵심 부품에 적합한 정전척 소재 및 구조 개발
2) 용사 코팅에 적합한 고성능 세라믹 파우더 및 내전압 특성이 우수한 코팅층을 위한 플라즈마 코팅 공정개발
□ 제조 공정 개발을 통한 신뢰성 확보
1) 8세대 대면적 정전척의 균일한 척킹력을
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