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보고서 상세정보

CVD법을 통한 사파이어, SiC 단결정 성장용 도가니 및 서셉터의 TaC coating 기술 개발

과제명 CVD법을 통한 사파이어, SiC 단결정 성장용 도가니 및 서셉터의 TaC coating 기술 개발
주관연구기관 티씨케이
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2017-07
과제시작년도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800040291
과제고유번호 1415145902
사업명 소재부품기술개발
DB 구축일자 2018-09-22
키워드 탄탈륨 카바이드.화학증착.TaC 코팅.고내열성.내열충격.서셉터 & 도가니 coating.고온안정성.
초록

핵심기술
- 고순도 TaC Coating 기술

최종목표
-불순물 농도 2ppm이하의 공정조건 확보
-평균증착두께 40㎛ 공정조건 확보
-Ø220 * H200의 graphite 도가니에 코팅조건 확보...