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보고서 상세정보

Bulk MEMS 디바이스 및 디지털 SoC 기술을 이용한 ESC 시스템용 압력센서 모듈 개발

과제명 Bulk MEMS 디바이스 및 디지털 SoC 기술을 이용한 ESC 시스템용 압력센서 모듈 개발
주관연구기관 대양전기공업(주)
Daeyang Co., Ltd
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2017-10
과제시작년도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800040313
과제고유번호 1415148550
사업명 소재부품기술개발
DB 구축일자 2018-09-22
키워드 주행안전장치.금속 박판.마이크로미세공정.압력센서.전용디지털 신호처리칩.
초록

핵심기술
Bulk Si를 적용하여 압력센서 소자에 최적화 되고 ESC 시스템을 안정적이며 구동할 수 있는 디지털 신호처리용 chip을 개발

최종목표
Bulk MEMS 기술을 이용한 고효율 MEMS 압력 소자와 ...

표 / 그림 (405)