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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)나노텍 |
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연구책임자 | 박항묵 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040377 |
과제고유번호 | 1711041018 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 플라스마 아킹.펄스 플라스마.식각 종말점 검출.실시간.공정제어.다변량 분석. |
핵심기술
○ 수~수십 us 수준의 플라스마 아킹 검출을 위한 광학 설계 기술 및 낮은 식각 영역에서의 식각 종료점 검출을 위한 분석 알고리즘 기술
최종목표
○ 식각 종료점 검출 및 수~수십 ㎲급 아킹 검출, 수~수백 kHz급 펄스 플라스마 분석이 가능한 플라스마 공정 진단 및 제어 시스템 개발 및 양산화
개발내용 및 결과
○ 고속 A/D board 개발
- [개요] Photodiode 또는 1D-CCD 센서로부터의 analog 신호를 digital 신호로 변환하는 역할을 하는 boa
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