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보고서 상세정보

플라즈마 아킹 및 식각 종료점 검출이 가능한 실시간 플라즈마 진단 시스템 개발

과제명 플라즈마 아킹 및 식각 종료점 검출이 가능한 실시간 플라즈마 진단 시스템 개발
주관연구기관 (주)나노텍
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2017-07
과제시작년도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800040377
과제고유번호 1711041018
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2018-09-22
키워드 플라스마 아킹.펄스 플라스마.식각 종말점 검출.실시간.공정제어.다변량 분석.
연구과제
타임라인
과제명
플라즈마 아킹 및 식각 종료점 검출이 가능한 실시간 플라즈마 진단 시스템 개발
과제기간
2016
총연구비 ...
초록

핵심기술
○ 수~수십 us 수준의 플라스마 아킹 검출을 위한 광학 설계 기술 및 낮은 식각 영역에서의 식각 종료점 검출을 위한 분석 알고리즘 기술

최종목표
○ 식각 종료점 검출 및 수~수십 ㎲급 아킹 검출,...

목차
Contents

표 / 그림 (112)