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보고서 상세정보

다중센서 빅데이터를 활용한 반도체 공정장비 통합진단기술 개발

Development of Multi-Sensor/Big-data Integrated Diagnostics Solution on Semiconductor Manufacturing Equipments

과제명 다중센서 빅데이터를 활용한 반도체 공정장비 통합진단기술 개발
주관연구기관 프라임솔루션(주)
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2018-06
과제시작년도 2017
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201800042091
과제고유번호 1711055108
사업명 ICT유망기술개발지원
DB 구축일자 2018-11-03
키워드 반도체 플라즈마 공정.공정진단.통합 진단 해석.Semiconductor Plasma Processing.Processing Diagnostics.Integrated Analysis.
초록

핵심기술
- 반도체 플라즈마 공정 진단용 다중센서의 통합 모니터링 기반 공정진단 기술

최종목표
- 다중센서 빅데이터 기반 반도체 플라즈마 공정 해석 모델 및 알고리즘 개발과 이를 활용한 공정진단 솔루션 개발...

표 / 그림 (100)