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보고서 상세정보

MEMS 압력센서 기반의 미세 유량 센서 개발

Development of pressure sensor based-flow sensor

과제명 MEMS 압력센서 기반의 미세 유량 센서 개발(1/1)
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2018-08
과제시작년도 2018
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900013940
과제고유번호 1711079416
사업명 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비)
DB 구축일자 2019-09-07
초록

제 1장 개요
제 1절 연구개발(지원) 목표
ㅇ 최종목표 : MEMS형 압력센서 기반의 소자 센싱 기술을 통한 미세 유량 측정 및 설계 기술 개발
- MEMS형 압력센서를 적용한 미세 유량 측정 신호처리 모듈 개발...