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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 박동수 |
참여연구자 | 통가 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-12 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000003009 |
과제고유번호 | 1711101716 |
사업명 | 재료연구소연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2020-05-02 |
키워드 | 상온진공과립분사.이트리아 코팅.고경도.고밀도.플라즈마 내식성.나노구조 코팅.GSV.Yttria coating.High hardness.High density.Plasma erosion resistance.Nano-structured coating. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO202000003009 |
이트리아 (Y2O3)는 화학적으로 매우 안정한 세라믹으로 특히 반도체 제조공정에서 사용되는 불소계 플라즈마에 의한 저항성이 우수함. 따라서, 현재 반도체 공정장비 부품에 코팅의 형태로 너리 적용되고 있음. 지금까지 플라즈마 용사 공정으로 코팅이 이루어져 왔으나, 반도체 나노공정 및 3D 반도체 생산 등에 따라 고강도 및 고밀도 불소계 플라즈마가 채용됨에 따라 플라즈마 용사코팅보다 우수한 성능을 가진 고밀도와 고경도의 나노구조 이트리아 코팅에 대한 수요가 급증함.
Dielectric win
Ⅳ. Results
- Deveopment of yttria coating with Hv25g 9.4 ± 0.2 GPa
- Development of yttria coath with 12.1 ± 1.6 μm thickness
- Development of yttria coating with the low plasma erosion rate (0.4 of plasma sprayed yttria coating)
- Developement of yttria coating consising of g
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