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게이트 전극 형질변환에 의한 고감도, 저전력 전계효과트랜지스터형 수소센서 개발

Development of the highly sensitive FET-type hydrogen sensor with a low power consumption by modifying the form and quality of gate electrode

보고서 정보
주관연구기관 서울시립대학교
Korea Forest Research Institute
연구책임자 김정식
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2020-03
과제시작연도 2019
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202000005156
과제고유번호 1711092605
사업명 개인기초연구(과기정통부)(R&D)
DB 구축일자 2020-07-29
키워드 가스센서.반도체 수소센서.전계효과트랜지스터.혼성 감지물질.수소 감지물질.

초록

□ 연구개요
3원계 Pd-합금 나노 감지물질을 2차원 나노물질(boron nitride nanotubes)과 조합한 혼성 복합소재를 설계 제조하고, 이를 FET형 수소센서 플랫폼의 게이트 전극 소재에 적용시킴으로서 수소검지 성능(검지농도 범위, 검지 정확도, 감도, 반응 및 회복시간, 수명 등)을 크게 개선한 고감도 FET 반도체 수소센서 제조기술에 대해서 연구함.
< 주요 연구개발 내용 >
- MEMS/CMOS 공정기술을 이용하여 열적 고립구조를 갖는 저전력형 FET 마이크로 수소센서 플랫폼[4.0x4.0mm]을

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연구결과 요약문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
  • 가. 연구의 필요성 ... 4
  • 나. 연구의 최종 목표 ... 5
  • 다. 연차별 세부목표 및 연구범위 ... 5
  • 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 6
  • 가. FET형 반도체 수소센서 디바이스 설계 및 제작 ... 6
  • 나. 센서 platform의 전기적-열적 분석 ... 7
  • 다. BNNTs-decorated Pd-Ni-Co 합금 감지물질 합성 및 센서 플랫폼 증착 ... 8
  • 라. 수소가스 감지 특성 측정 고찰 ... 9
  • 마. BNNTs-decorated Pd-Ni-Co FET 센서의 수소가스 감지 원리 ... 12
  • 3. 연구개발결과의 중요성 ... 13
  • 4. 참고문헌 ... 13
  • 5. 연구성과 ... 15
  • 대표적 연구실적 ... 16
  • 끝페이지 ... 27

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참고문헌 (25)

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