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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울시립대학교 Korea Forest Research Institute |
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연구책임자 | 김정식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000005156 |
과제고유번호 | 1711092605 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 가스센서.반도체 수소센서.전계효과트랜지스터.혼성 감지물질.수소 감지물질. |
□ 연구개요
3원계 Pd-합금 나노 감지물질을 2차원 나노물질(boron nitride nanotubes)과 조합한 혼성 복합소재를 설계 제조하고, 이를 FET형 수소센서 플랫폼의 게이트 전극 소재에 적용시킴으로서 수소검지 성능(검지농도 범위, 검지 정확도, 감도, 반응 및 회복시간, 수명 등)을 크게 개선한 고감도 FET 반도체 수소센서 제조기술에 대해서 연구함.
< 주요 연구개발 내용 >
- MEMS/CMOS 공정기술을 이용하여 열적 고립구조를 갖는 저전력형 FET 마이크로 수소센서 플랫폼[4.0x4.0mm]을
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