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RF 수동집적회로(IPD) 공정기술의 업그레이드를 통해 높은 Q값의 이중나선형 인덕터의 구현 및 이를 통한 높은 성능의 RF 공진기 구현

Study of the high quality factor double inductor based on optimized integrated passive device (IPD) process and high performance of RF IPD resonator

보고서 정보
주관연구기관 광운대학교
Kwangwoon University
연구책임자 김남영
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2018-11
과제시작연도 2017
주관부처 교육부
Ministry of Education
등록번호 TRKO202000006960
과제고유번호 1345269508
사업명 개인기초연구(교육부)
DB 구축일자 2020-09-12
키워드 화합물 반도체.RF소자.무선.비침습적.글루코오스 바이오센서.당뇨병.나노공정.공성능.일체형.

초록

연구개요
본 연구진이 기 개발한 글루코오스 바이오센서를 바탕으로 체외 비침습적 마이크로 웨이브를 활용한 인체 혈당농도 자동 측정 시스템을 연구하고자 한다. 우선 혈당농도와 그 변화에 따른 RF특성을 파악해야 한다. 예를 들면 커패시턴스 값, 인덕턴스값, 소자 자기공진주파수(self-resonant frequency, SRF) 등의 데이터를 통해파라미터 간의 상관성을 파악할 수 있다. 이런 관계를 활용하여 바이오센서 구조를 다시 설계한다. 소자 및 능동소자의 장점을 이용하여 당뇨병 검측에 맞는 바이오센서를 다자인하고 금속표면처리

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연구결과 요약문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 3
  • a) 금속화 표면공정 향상 연구 ... 3
  • b) 2층 air-bridge 공정기술 개발 ... 3
  • c) MEMS 기술을 이용한 정량적 바이오센서 개발 ... 4
  • 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 4
  • a) SU-8을 이용한 패터닝 공정 및 최종 패시베이션 공정 연구 ... 4
  • b) Ink-jet 기술을 이용한 flexible형 바이오센서 칩 연구 ... 5
  • c) 측정 플랫폼의 구축 및 최종 분석 ... 5
  • d) 당뇨병 검증용 바이오센서 신뢰성 확인 ... 6
  • 3. 연구개발결과의 중요성 ... 6
  • 4. 참고문헌 ... 6
  • 5. 연구성과 ... 7
  • 끝페이지 ... 15

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참고문헌 (25)

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