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EUV 펠리클 사업화를 위한 차세대 박막 공정 기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한양대학교
HanYang University
연구책임자 안진호
참여연구자 남기수
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-12
과제시작연도 2019
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202000008264
과제고유번호 1711101841
사업명 연구산업육성(R&D)
DB 구축일자 2020-07-29
키워드 EUV 노광 기술.EUV 펠리클.극박막.EUV 투과도.내열성.EUV lithography.EUV pellicle.Ultra thin film.EUV transmittance.Thermal durability.

초록 ▼

< 차세대 EUV 펠리클 구조 개발 >
• 시뮬레이션을 통한 보강층 및 EUV 투과도 90% 이상 구조 제시
• 차세대 EUV 펠리클용 금속화합물 소재 제작 공정 확보 및 활용 가능성 검증

< EUV 펠리클 시제품 제작 및 특성 평가 >
• 박막 증착, 식각, 세정, 건조 공정 최적화를 통한 양산용 EUV 펠리클 제작 및 공정 수율 개선
• 광학적/기계적/열적 기초 특성 평가를 통한 제품화 가능성 검증

< EUV 펠리클 시제품의 신뢰성 평가 >
• 펠리클 적용 전후에 대한 마스크

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요약문 ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 7
  • 제 1 절 연구개발과제의 배경 ... 7
  • 1. 극자외선 노광 기술 (EUV lithography, EUVL) ... 7
  • 2. 극자외선 노광 기술용 펠리클 (EUV pellicle) ... 8
  • 제 2 절 연구개발과제의 목적 ... 9
  • 1. EUV 펠리클 시제품 제작을 위한 복합구조체 극박막 설계 ... 9
  • 2. EUV 펠리클 제작 공정 수율 향상을 위한 식각 플랫폼 구축 ... 9
  • 3. 광학적/기계적/열적 특성 평가를 통한 EUV 펠리클 양산 적용 가능성 검증 ... 10
  • 제 3 절 연구개발과제의 필요성 ... 10
  • 1. 양산용 EUV 펠리클 설계 및 제작을 위한 나노스케일 물성 확보 ... 10
  • 2. 국내 반도체 산업 경쟁력 제고 ... 11
  • 3. 멤브레인 기반의 플랫폼을 이용한 관련 산업 발전 ... 11
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 12
  • 제 1 절 국내 연구 기관 현황 ... 12
  • 제 2 절 해외 연구 기관 현황 ... 14
  • 제 3 장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 18
  • 제 1 절 펠리클 멤브레인 소재의 특성 평가기술 확보 ... 18
  • 1. 1차년도 : EUV 펠리클 기초 제작 공정 및 특성 평가 기술 확보 ... 18
  • 2. 2차년도 : 보강층 연구를 통한 full-size 복합구조체 펠리클 제작 ... 31
  • 3. 3차년도 : EUV 펠리클의 신뢰도 평가 및 양산용 펠리클 제작 ... 55
  • 제 4 장 목표달성도 ... 74
  • 제 1 절 연차 별 세부 연구목표 ... 74
  • 제 2 절 평가의 착안점에 따른 달성도 ... 76
  • 제 3 절 국내 및 해외 업체 기술 개발 현황 ... 79
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 81
  • 제 1 절 추가연구의 필요성 ... 81
  • 1. 국내 취약 산업군 육성을 위한 선행 연구개발 ... 81
  • 2. 극박막 기술 신뢰성 확보를 위한 지속적인 연구개발 ... 81
  • 3. 극박막 기술 개발을 통한 산학연 협력 계기 마련 ... 82
  • 제 2 절 타 연구에의 응용 ... 82
  • 1. MEMS/Bio-chip ... 82
  • 제 3 절 사업화 추진방안 ... 83
  • 1. EUV 펠리클 시장 잠재성 및 예상 매출 분석 ... 83
  • 2. 잠재 고객 확보 및 시장 확대 ... 86
  • 3. 필요 자본 산정 및 자금 확충 방안 수립 ... 86
  • 제 6 장 사업화 수행 내용 및 결과 ... 88
  • 제 1 절 기술적 성과 ... 88
  • 1. 특허 출원 및 등록 현황 ... 88
  • 제 2 절 경제적 성과 ... 89
  • 1. 기술이전 현황 ... 89
  • 2. 사업화 현황 ... 90
  • 3. 고용 창출 현황 ... 90
  • 제 3 절 사업화 수행 내용 ... 91
  • 1. 수요 기업과의 교류를 통한 연구 성과 홍보 ... 91
  • 2. 특허 모니터링을 통한 기술 현황 파악 ... 92
  • 제 7 장 연구비 집행실적 ... 95
  • 제 8 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 96
  • 제 1 절 free-standing 멤브레인의 방사율 계산5) ... 96
  • 1. Lorentz-oscillator equation ... 96
  • 제 9 장 참고문헌 ... 99
  • 끝페이지 ... 100

참고문헌 (25)

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