$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 공정 배가스(PFCs, SF6, NF3) 저감을 위한 촉매시스템 후처리 기술개발
Development of post-treatment technology of catalyst system for reduction of semiconductor process exhaust gas 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 명성CMI
연구책임자 김현호
참여연구자 윤금수 , 조숙희 , 최규홍 , 이원영
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2020-01
과제시작연도 2019
주관부처 환경부
Ministry of Environment
등록번호 TRKO202100000149
과제고유번호 1485016098
사업명 글로벌탑환경기술개발사업(R&D)
DB 구축일자 2021-05-08

초록 ▼

I. 연차실적
1. 연구개발 목표 및 결과
가. 최종목표
반도체 공정에서 발생하는 배가스(PFCs, SF6, NF3)저감을 위한 촉매시스템의 2차 부산물을 경제적이며 고효율로서 저감하기 위한 최적 후처리 기술개발 (최종 30CMM급) 및 최종 통합 SYSTEM 기술 확보

- HF/HCI：5ppm 이하 또는 98% 이상 처리
- 동일 용량 기존 기술 대비 물 사용량 저감 50%
- 통합 시스템 운영 Program 매뉴얼 확보
- 통합 시스템 연속운전성능평가 : 3개월 이상
- 통합 시

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • I. 연차실적 ... 3
  • 1. 최종/당해연도 연구목표 달성 결과 ... 3
  • 2. 최종/당해연도 성과목표 달성 결과 ... 4
  • 3. 당해연도 연구성과 ... 5
  • 4. 연구 개발비 집행 실적 ... 12
  • 5. 기관(기업) 정보 현황 ... 13
  • II. 차년도 연구개발 계획 ... 14
  • 1. 최종/연도별 연구목표 달성계획 ... 14
  • 2. 최종/당해연도 성과계획 ... 16
  • 3. 연구개발비 ... 20
  • 4. 주요 연구계획 변경사항 ... 30
  • 목차 ... 33
  • I. 연차실적 ... 34
  • 1. 연구개발 목표 및 결과 ... 34
  • 가. 최종목표 ... 34
  • 나. 당해연도 개발 목표 및 결과 ... 34
  • 2. 연구 평가의 착안점 및 기준 ... 79
  • 3. 연구수행에 따른 문제점 및 개선 방향 ... 79
  • 4. 기타 건의사항 ... 79
  • II. 차년도 연구개발 계획 ... 80
  • 1. 연구개발의 필요성 ... 80
  • 가. 연구개발의 개요 ... 80
  • 나. 연구개발 대상의 국내·외 현황 ... 83
  • 다. 기술개발의 차별성 ... 94
  • 2. 연구개발의 목표 및 내용 ... 99
  • 가. 연구개발의 목표 및 내용 ... 99
  • 나. 평가의 착안점 및 기준 ... 108
  • 3. 연구개발의 추진전략·방법 및 추진체계 ... 109
  • 가. 연구개발 추진전략·방법 ... 109
  • 나. 연구개발 추진체계 ... 110
  • 다. 추진 일정 ... 112
  • 4. 연구 개발 성과의 활용 방안 및 기대효과 ... 114
  • 가. 연구개발결과의 활용방안 ... 114
  • 나. 사업화계획 및 효과 ... 115
  • 5. 위탁연구 추진계획(국제공동(위탁)연구 포함) ... 121
  • 가. 위탁연구과제 개요 ... 121
  • 나. 위탁연구 필요성 ... 121
  • 다. 위탁연구 목표 및 내용 ... 121
  • 6 . 연구개발과제의 보안등급의 분류 및 결정사유 ... 122
  • 7. 연구에 활용 예정인 장비 현황 ... 123
  • 끝페이지 ... 125

표/그림 (55)

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로