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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국해양대학교 Korea Maritime University |
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연구책임자 | 이삼녕 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100000724 |
과제고유번호 | 1711084506 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-06-05 |
키워드 | 화학적 습식 식각.마이크로/나노 구멍.갈륨아세나이드.나노구조.플라즈몬.압전물질.에너지 하베스팅.태양전지.LED. |
○ 연구개요
마이크로/나노 hole을 제작하는데 있어서 FIB, Soft lithography 등의 방법을 이용하면 고가의 장비가 필요하고 시간이 많이 소요된다는 단점이 있다. 그래서 이러한 단점을 보완하기 위해 저비용인 wet-chemical etching 방법을 사용하여 마이크로/나노 hole을 제작하고자 한다. 이러한 방법으로 마이크로/나노 hole을 구현한 뒤 금속을 증착하여 plasmon 생성에 적용하여 LED, 태양전지의 효율향상 및 energy harvesting 소자에 응용하고자 한다.
○ 연구 목표
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