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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 문병민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100001195 |
과제고유번호 | 1345300259 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-06-12 |
키워드 | 반도체 제조공정.비정형 데이터.빅데이터.스마트팩토리.신호 처리.이상 탐지 및 진단.웨이블릿 변환.특징추출.품질공학. |
연구개요
■ 반도체 스마트팩토리 제조공정은 화학물질, 방사선 등의 특수성으로 설비의 고장 또는 작업자의 작은 실수로 인하여 심각한 사고를 유발할 수 있음.
■ 이에 따라 원자재부터 제품이 완성되기까지 실시간으로 공정의 이상 탐지 및 진단을 실시하고 있으며, 오늘날 다양한 센싱 기술의 발전으로 반도체 제조공정에서는 정형 데이터 뿐만 아니라 신호 데이터를 실시간으로 획득하고 있음.
■ 본 연구에서는 반도체 스마트팩토리 제조공정에서 추출되는 신호 데이터를 활용하여 반도체의 불량 및 제조공정의 사고를 사전에 방지할 수 있는
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