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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광주금형 |
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연구책임자 | 김기열 |
참여연구자 | 정현철 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-12 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 중소벤처기업부 Ministry of SMEs and Startups |
과제관리전문기관 | 한국산업기술진흥원 Korea Institute for Advancement of Technology |
등록번호 | TRKO202100022657 |
과제고유번호 | 1425137294 |
사업명 | 국가융복합단지연계지역기업상용화R&D지원사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-11-06 |
키워드 | 주조.냉각장치.SUS PIPE 유로.웨이퍼 냉각장치.AL 냉각장치. |
1. 최종목표
- 반도체 Wafer 생산 시 냉각에 사용되는 Chill Plate 제조 공법 및 가공 방식 개선에 따른 품질향상과 원가 절감 구현
- 기존 Brazing Welding 공정의 Leak 문제 해결을 위한 중력 주조 방식 적용
- Seamless pipe insert 를 통한 냉각 유로 적용
- 냉각 유로 구조 설계를 통한 Chill Plate 의 냉각성 향상
- 열전달 해석 과정을 통한 냉각 유로의 최적 구조 설계
- 광간섭을 적용한 평탄도 측정을 통한 Chill Plate 의 평탄도
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