초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
• 첨단 융합부품소재의 표면/계면 원소의 화학적 결합상태, 미세영역 원소분포 및 깊이 따른 원소 상태 등을 확인할 수 있는 고성능 XPS 구축․운영

○ 전체 내용
• 융합부품소재 핵심연구지원센터에 기 구축된 공동활용 장비는 소재의 표면영상, 정성분석 및 물리적 특성분석 장비 및 공정장비 위주로 구성되어 있음. 본 센터는 박막・코팅을 이용한 융합부품소재를 중점적으로 연구하는 센터로 첨단 부품소재의 경쟁력 확보에서 중요한 요소가 소형화, 초집적화, 경량화인 것을

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
• 첨단 융합부품소재의 표면/계면 원소의 화학적 결합상태, 미세영역 원소분포 및 깊이 따른 원소 상태 등을 확인할 수 있는 고성능 XPS 구축․운영

○ 전체 내용
• 융합부품소재 핵심연구지원센터에 기 구축된 공동활용 장비는 소재의 표면영상, 정성분석 및 물리적 특성분석 장비 및 공정장비 위주로 구성되어 있음. 본 센터는 박막・코팅을 이용한 융합부품소재를 중점적으로 연구하는 센터로 첨단 부품소재의 경쟁력 확보에서 중요한 요소가 소형화, 초집적화, 경량화인 것을 고려할 때 표면/계면 특성분석은 융합부품소재 연구개발의 경쟁력 향상에 필수적임.
• 유․무기 소재 박막의 표면/계면 원소의 화학적 결합상태, 원소분포 및 깊이에 따른 원소 상태 등을 확인할 수 있는 고성능 XPS 구축․운영으로 연구지원의 질을 향상시키고 참여연구진 및 외부 대학과 산업체의 연구개발 경쟁력 강화 및 연구의 효율성,수월성 향상.
• 첨단 박막 소재 분석 기법 개발 및 문제 해결형 종합 분석지원시스템 구축 : 고성능 X-선 광전자분광기 구축과 전문운영인력에 의한 표면/계면 특성분석지원 시스템 확보 → 조선 기자재, 선박, 자동차 등에 활용할 수 있는 박막코팅/융합부품 소재 연구 및 표면처리 기술 등에 대한 연구개발을 진행하고 있는 연구자들에게 개방 → 공동활용 촉진 및 기초연구역량 강화 및 향후 대학 내 연구자들의 공동연구 활성화 기반 마련
• 융합부품소재 개발에 필요한 반도체, 세라믹, 폴리머 및 다층박막의 정밀 표면/계면 분석, 기존의 장비에서 취약하였던 Argon Ion Cluster건을 이용한 유기소재 관련 depth profile 영역에 대한 분석 및 첨단 신소재의 성능의 경쟁력을 좌우하는 미세영역 원소분포 이미징 등의 분석지원 금속, 산화물, 분말, 유리,플라스틱, 고분자, 카본, 세라믹스, 바이오, 섬유, 코팅 등의 표면원소 및 특성분석
• 미세영역의 유・무기 나노 소재·소자의 표면·계면의 전자구조 및 화학적 결합상태, 원소의 정량 및 정성분석, 원소의 깊이분포 분석지원.
• Tilting을 이용한 유․무기 소재의 초박막 원소분포 분석
• 표면 및 계면에서의 원소분포분석을 위한 마이크로 이미징 분석
• 소재 대학 및 주변 대학생들의 첨단 연구장비실습 교육기회 제공

○ 1단계
목표 - 고성능 X-선 광전자 분광기 설치 및 공동연구활성화 기반 마련
내용
• 고성능 X-선 광전자 분광기 구축․운영
• 정기적인 교육을 통한 전담운영인력 역량강화
• 고성능 X-선 광전자 분광기 활성화를 위한 홍보
• 이용자 대상 수시 교육 실시
• 센터 내 타장비와 연계를 통한 종합연구지원시스템 구축

□ 연구개발성과
• 전담운영인력 역량 강화를 위한 교육 5건
- 2021.01.21 XPS 장비 운용 교육
- 2021.02.24 Angle Resolved(각분해) XPS 분석방법
- 2021.03.04. XPS peak fitting 방법
- 2021.03.10. Shift 된 XPS peak 보정방법
- 2021.04.09. XPS peak searching
• 공동활용 성과
- 공동활용 시간: 206시간
- 공동활용 시료수/건수: 180개/54건
- 공동활용 이용자 수: 26명
• X-선 광전자 분광기 설치를 위한 추가공간 확보
- 정보공학관 316호 추가 확보하여 기존 302호 산학협력실을 316호로 이전
- 302호 X-선 광전자 분광기실 구축
• X-선 광전자 분광기 시범운영
- 시범운영 기간: 2020년 12월 13일 ~ 2021년 1월 31일
- 시범운영 목적
1) X-선 광전자분광기 전담운영인력 장비 운영 및 분석 역량 강화
2) X-선 광전자분광기 이용자 확보
- 시범운영 성과
1) X-선 광전자분광기 전담운영인력 장비운영 및 분석 역량 강화
2) 시범운영 분석 건 수: 29건
3) 시범운영 분석 시료 수: 106개
4) 시범운영 분석 이용자 수: 15명
5) 시범운영 장비활용 외부 기관 수: 3개
• 결과 분석용 컴퓨터 추가 설치
- X-선 광전자 분광기 가동 중 결과데이터 후처리 작업(Fitting, Data search) 시 오류가 발생될 수 있으므로 동시 작업 불가
- 이용자의 결과데이터 후처리 작업 편의를 위해 분석용 소프트웨어가 설치된 컴퓨터를 추가 설치

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
• 참여 연구진의 주 연구분야가 유・․무기 소재를 이용한 박막․코팅을 이용한 융합부품소재로 최근 부품소재의 경쟁력 확보에서 중요한 요소가 소형화, 초집적화, 경량화인것을 고려할 때 효율적인 charge compensation 및 small size 분석이 가능한 고성능 XPS 구축․운영으로 참여연구진의 연구 효율성, 수월성 향상 및 공동연구 활성화에 기여
• 기 구축된 소재특성, 형상분석 장비 및 공정장비와 표면특성 분석장비인 XPS 장비를 이용한 종합연구지원시스템 구축으로 부산지역의 융합부품 소재 분야의 대표적인 연구중심 센터로 발전

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1요약문 ... 2목차 ... 61. 연구개발과제의 개요 ... 7 1) 신청 장비 ... 7 2) 신청 장비 용도 및 사양 ... 7 3) 신청 장비의 필요성 ... 7 4) 신청 장비의 활용 ... 72. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 7 1) 연구개발과제의 수행 과정 ... 7 2) 연구개발과제의 수행 내용 ... 83. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 8 1) 연구수행 결과 ... 8 2) 목표 달성 수준 ... 144. 목표 미달 시 원인분석 ... 14 1) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 ... 14 2) 자체 보완활동 ... 14 3) 연구개발 과정의 성실성 ... 155. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 156. 연구개발성과의 관리 및 활용계획 ... 15끝페이지 ... 17