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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포톤 |
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연구책임자 | 조중근 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국산업기술진흥협회 Korea Industrial Technology Association |
등록번호 | TRKO202300029483 |
과제고유번호 | 1711122327 |
사업명 | 고용위기기업부설연구소R&D전문인력활용지원 |
DB 구축일자 | 2024-06-26 |
키워드 | 반도체.세정장비.공정챔버.소프트웨어.스케쥴러.Semiconductor.Cleaner.Process chamber.Software.Scheduler. |
□ 연구개발 목표 및 내용
ㆍ 최종 목표
ㅇ 반도체세정장비 개발
ㅇ 장비의 기구설계, 전장설계, 소프트웨어 설계
ㅇ 장비 제작 및 시험
ㆍ 전체 내용
ㅇ 공정챔버, 물류시스템, 약액공급시스템 설계 제작
ㅇ 제어 소프트웨어 개발 : 구동스케줄러, 유저 인터페이스, 모션 제어
□ 연구개발성과
ㅇ 반도체세정장비 개발 완료
ㅇ 반도체세정장비의 구동 소프트웨어 개발 완료
ㅇ 연구장비 1대 실물 제작 및 판매 (15억원)
□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
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