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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김건우 |
참여연구자 | 성지현 , 이재욱 , 김다헤 , 박소현 , 정현국 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-11 |
과제시작연도 | 2023 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202400000650 |
과제고유번호 | 1711200301 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-06-26 |
키워드 | 하부척.삼중주기최소표면.적층제조.적층제조특화설계.온도균일도.Lower Chuck.Triply Periodic Minimal Surface.Additive Manufacturing.Design for Additive Manufacturing.Temperature uniformity. |
□ 연구목표
○ 8인치 웨이퍼 프로버 하부척의 적층제조
○ 12인치 웨이퍼 프로버 하부척의 적층제조
□ 연구내용
○ 절삭가공 기반 기존 하부척의 열유동 특성 분석
* 절삭가공 기반 기존 하부척의 구조/성능 조사
○ 격자구조 생성 자동화 프로그램 개발
* 다양한 격자구조의 구조 분석
○ TPMS구조가 적용된 하부척의 열유동해석
* 25LPM 유량과 3,000W의 열용량에 대한 열유동해석
○ 8인치 하부척의 반응표면모델 개발
* EasyDesign을 활용한 progres
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