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문제 정의
- 본 논문에서는 robust stabilization of normalized coprime factor plant description과 Hco loop shaping 방법을 이용한 외란 관측기의 설계방법을 제안했다. 제안된 설계 방법의 장점은 외란 관측기의 강인성이 최대 안정화 여유값에 의해 보장되고 목표 전달 함수설계를 통해 강인성과 성능이 보장된 외란 관측기 Q-filter 설계 변수를 체계적으로 설정할 수 있는 장점이 있다.
- 본 논문에서는 외란 관측기를 위한 강인성이 보장 되는 Q-filter의 설계 방법을 제안 한다. 제안 된 방식은 robust stabilization of normalized coprime factor plant description과 Hee loop shaping 방법을 이용하여 Q-filter의 설계 변수를 체계적으로 설계할 수 있다또한 제안된 방식으로 설계된 외란 관측기는 전체 시스템의 강인성과 성능이 보장되는 Q-filter의 설계 파라메터를 Nehari의 최적 안정화 여유값과 목표 전달 함수를 이용하여 체계적으로 설정할 수 있는 장점이 있다[10].
- 본 절에서는 robust stabilization of normalized coprime factor plant description 과 H«> loop shaping method 를 이용한 외란 관측기에 대해 설명한다. 먼저 외란 관측기의 강인 안정화에 대해 설명한 후 이것을 이용한 외란 관측기의 설계 방법에 대해 설명한다[10].
가설 설정
- 모의실험에서 1 트랙은 100nm이고 y축은 0.4mm/s의 속도로 구동한다고 가정했다. 외란 관측기를 적용하지 않았을 경우 파란색 점선과 같이 스테이지 커플링으로 인해 전체 스테이지의 위치가 1 트랙에서 최대 ±7nm 변화하는 것을 알 수 있다.
- 대한 구조 특이치를 구했다. 본 논문에서의 변수 불확실성은 3.1 절에서 언급한 저주파 영역에서의 변수 불확실성으로 구성했고 본 논문 2장에서 측정된 a扁과 3가 15%와 5% 변화한다고 가정했다. 그림 11을 보면 그림 12을 통해 얻은 구조 특이치 값은 1을 넘지 않으므로 저이득 이론 (small gain 나ierm)에 의해 설계된 제어 시스템은 설정된 변수 불확실성에 대한 강인성이 보장되는 것을 알 수 있다[11].
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