초록 ▼

용어보기논문에서 용어와 풀이말을 자동 추출한 결과로, 시범 서비스 중입니다. AI-Helper

물질 표면의 초 미세구조및 전자적 특성을 분석할 수 있는 공기 중에서 작동하는 주사 터널링 현미경을 제작하였다. 현미경 몸체는 스테인레스 철판을 정밀하게 가공하고 각 부분들을 견고하게 조립하여 외부의 이차적 진동에 의한 부속들 간의 상대 운동을 배제하였으며, 현미경을 길이 2m의 등상용 밧줄에 매달아 외부의 일차적 진동을 차단하였다. 미세한 터널링 전류를 컴퓨터가 감지할 수 있는 범위까지 증폭시키는 전류 증폭기는 현미경에 부착하여 전선에서 들어오는 잡음을 방지하였으며, 전원에서 나오는 잡음을 방지하기 위하여 재 충전용 건전지를 사용하여 전류 증폭기를 구동시켰다. 시료 이동 장치는 직류 모터와 미세 나사를 사용하여 만들었으며 컴퓨터로 직류 모터를 제어하여 최소 수직 이동 거리가 10Å 미만이 되도록 하였다. 탐침의 수직, 수평 방향의 주사는 ...

물질 표면의 초 미세구조및 전자적 특성을 분석할 수 있는 공기 중에서 작동하는 주사 터널링 현미경을 제작하였다. 현미경 몸체는 스테인레스 철판을 정밀하게 가공하고 각 부분들을 견고하게 조립하여 외부의 이차적 진동에 의한 부속들 간의 상대 운동을 배제하였으며, 현미경을 길이 2m의 등상용 밧줄에 매달아 외부의 일차적 진동을 차단하였다. 미세한 터널링 전류를 컴퓨터가 감지할 수 있는 범위까지 증폭시키는 전류 증폭기는 현미경에 부착하여 전선에서 들어오는 잡음을 방지하였으며, 전원에서 나오는 잡음을 방지하기 위하여 재 충전용 건전지를 사용하여 전류 증폭기를 구동시켰다. 시료 이동 장치는 직류 모터와 미세 나사를 사용하여 만들었으며 컴퓨터로 직류 모터를 제어하여 최소 수직 이동 거리가 10Å 미만이 되도록 하였다. 탐침의 수직, 수평 방향의 주사는 압전 물질 튜브에 전압을 가하여 실시하였다. 시료 표면을 주사하는 현미경의 탐침은 텅스텐 선과 백금 선을 각각 1mol의 KOH용액과 HCL용액으로 식각하여 만들었다. 현미경 작동에 필요한 각각의 전자 회로에는 정밀하고 잡음이 적은 부품들을 사용하였으며, 적절한 소자 배치와 배선을 하여 각각의 전선에서 나오는 자장의 영향으로 인한 잡음을 배제하였다. 현미경의 제어와 데이터 처리는 IBM 486 PC로 실시하였다. 제작된 현미경으로 실리콘 기판에 성장시킨 금 박막표면의 테라스, 스텝구조등을 측정하여 현미경 성능을 확인하였으며 현재 제작된 현미경의 해상력은 10Å 정도로 추정된다.

Abstract ▼ AI-Helper

I have built a scanning tunneling microscope(STM) operable in atmosphere to study morphologies and electronic properties of material surfaces. The mechanical part of STM was made of stainless steel. The body was built rigidly to eliminate any relative motion between the probe tip and the sample. The...

I have built a scanning tunneling microscope(STM) operable in atmosphere to study morphologies and electronic properties of material surfaces. The mechanical part of STM was made of stainless steel. The body was built rigidly to eliminate any relative motion between the probe tip and the sample. The external vibration was suppressed by suspending STM to the ceiling using a 2 meters long rope. The current preamplifier which amplifies the tunneling current was placed on the body of STM to eliminate electrical noise from transmission wires and vibration. The coarse approach of the sample to the probe tip was done by combining a DC motor and a fine screw. The minimum vertical movement was less than 10Å when the DC motor was controlled by a computer. Vertical and horizontal scanning of the tip was done by applying voltage to the piezo electric tube. The tip was prepared by electrochemical etching of tungsten or platinum alloy wires in KOH, HCL solutions. Electronics which controls the STM was built using precision low noise electronic parts. The control of the STM and data processing was done using a IBM 486 personal computer. To test the performance of the STM, the surface morphology of a gold film grown on a Si wafer was imaged. The STM image showed the step and terrace structure of the gold film, from which the resolution was estimated to be 10Å.

주제어