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TiN과 TiCN은 우수한 내마모 특성과 공업적 편이성 등으로 인해 경질 박막재료로 오래 전부터 사용되어 왔고 그 적용 범위는 점차 확대되고 있다. 증착 방식으로서는 열 CVD 방식과 arc ion plating, sputtering과 같은 PVD방식이 주로 사용되었으나 최근에는 두 방식을 보완한 PECVD에 의한 증착과 그 활용도 점차 확대되고 있는 추세이다.
실제 적용 상황에서 박막의 파괴는 점진적인 마모에 의한 것보다는 계면파괴(...
저자 | 허정 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 금속재료공학과 |
발행연도 | 2002 |
총페이지 | vi, 36 p. |
키워드 | 금속공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T8268134&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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