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NTIS 바로가기산화바나듐(V₂O_5)박막을 알곤과 산소의 혼합 가스로 하여 V₂O_5 타켓을 사용하고 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기판 위에 퇴적시켰다. 온도 및 시간에 따른 어닐링조건하에서 제조된 박막의 ...
Thin films of vanadium pentoxide(V₂O_5) have been deposited by RF magnetron sputtering from V₂O_5 target in gas mixture of argon and oxygen. And the thin film specimens had been treated at various annealing conditions. Crystal structure, surface morphology, surface composition and optical properties...
저자 | 김신규 |
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학위수여기관 | 서울산업대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 電氣工學科 |
발행연도 | 2000 |
총페이지 | iv, 51 p. |
키워드 | 어닐링 산화바나듐 박막 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T8960039&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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