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승화성 입자 에어로졸의 제트를 만들어 다양한 표면의 오염물질을 세정하는 공정에 대해 연구하였다. 승화성 에어로졸 제트는 세 가지 방법으로 얻었다. 처음 두 방법은 물을 초음파 분무한 액적, 또는 수증기, 이산화탄소, 아르곤등의 증기를 극저온 열교환기를 통과시켜 고화된 입자에어로졸 제트를 진공으로 흡입하여 고속화시켜 얻었다. 세 번째 방법은 고압의 액체 이산화탄소를 상압으로 단열 팽창시켜 고속의 ...

승화성 입자 에어로졸의 제트를 만들어 다양한 표면의 오염물질을 세정하는 공정에 대해 연구하였다. 승화성 에어로졸 제트는 세 가지 방법으로 얻었다. 처음 두 방법은 물을 초음파 분무한 액적, 또는 수증기, 이산화탄소, 아르곤등의 증기를 극저온 열교환기를 통과시켜 고화된 입자에어로졸 제트를 진공으로 흡입하여 고속화시켜 얻었다. 세 번째 방법은 고압의 액체 이산화탄소를 상압으로 단열 팽창시켜 고속의 드라이아이스 snow 제트를 직접 얻었다.
이와 같은 승화성 고속에어로졸 제트에 의하여 단순 공기 제트로는 제거할 수 없었던 입자상 오염물이나 분자 상의 유기 막들이 쉽게 제거되었다. 여기서 입자상 오염물이란 마이크론 크기의 소석회 및 폴리스타이렌, 서브마이크론 크기의 폴리스타이렌 및 매연 입자를 포함한다. 이들을 재현성 있게 기판에 퇴적시키는 방법이 고안되어 사용되었다. 초음속을 얻기 위한 임계 압력비에서 계단 함수적으로 입자제거율이 눈에 띄게 증가하였다. 입자들은 이외에도 노즐-기판간 거리 에어로졸의 질량속도에 의해 더 높은 세정속도를 보였다. 한편 후막의 제거를 위해 각종 기판위에 라커막을 분무에 의해 만들거나 포토레지스트를 스핀 코팅하여 얻었다. 후자의 경우 베이크 시간을 조정하여 다양한 경도의 포토레지스트 막이 얻어졌다. 막의 경도와 에어로졸 제트의 강도에 의해 막의 제거기구는 서로 차이가 났다. 막의 경우는 임계압력비보다 더 낮은 값에서 비로소 제거속도가 눈에 띄게 증가하였다. 역시 노즐-기판간 거리, 에어로졸의 질량 공급 속도가 큰 변수였다. 그리고 고압팽창에 의한 제트의 경우는 운반기체를 주어 충격력을 더욱 증대시킬 수 있었다. 에어로졸제트의 충격은 패인 막의 두께 분포를 측정하거나 금속 현미경에 의한 광학적 fringe로 측정 가능하였다. 그리고 정량적인 제거속도는 제거 막의 깊이나 바닥까지 완전 제거된 원의 지름으로 측정할 수 있었다.

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