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학위논문 상세정보

레이저 간섭계의 직각평면거울에 대한 직각도 오차 측정

Orthogonality measurement of square plane mirrors for laser interferometry


김태호 (한국과학기술원 자동화및설계공학과 국내석사)
Abstract

Plane mirror type laser interferometers are popularly being used in many modern ultraprecision machines, as they can perform simultaneous measurements of multiple axis positions with nanometer resolution capabilities. One important issue in this application of laser interferometers is to provide a g...

주제어

#Reversal principle Orthogonality error Plane mirror interferometry Moire grating of concentric circles 반전법 직각도 오차 평면 거울 간섭기 원형 모아레 격자;

참고문헌 (0)

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 김태호
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 자동화및설계공학과
지도교수 김승우,Kim, Seung-Woo
발행년도 1997
총페이지 i, 67 p.
키워드 Reversal principle Orthogonality error Plane mirror interferometry Moire grating of concentric circles 반전법 직각도 오차 평면 거울 간섭기 원형 모아레 격자
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10510899&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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