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학위논문 상세정보

대면적 플라즈마를 위한 병렬 공명 안테나의 개발과 그 특성에 관한 연구

(A) study of parallel resonance antenna for large area plasma


이동석 (한국과학기술원 물리학과 국내석사)
초록

고밀도 고균일의 대면적 플라즈마를 위하여 병렬 공명 안테나로 불리는 새로운 플라즈마원을 개발하였다. 이 안테나는 병렬로 연결되어 있고 마지막 턴에 축전기가 달려있다. 공명 현상이 일어날때 전류가 최대로 흐르는 것에 착안하여, 축전기의 용량을 조절하므로써 이 안테나에서 LC공명현상을 유도하였다. 축전기를 조절하므로써 안테나에 흐르는 전류를 조절할 수 있으므로, r-방향으로 균일한 밀도의 플라즈마를 생성할 수 있다. 새로운 플라즈마원은 일반 ICP 원보다 낮은 80V의 안테나 전압을 공명점에서 가진다. 500w 아르곤 가스에서 $3\t...

Abstract

New type plasma source - parallel resonance antenna - is developed for high density uniform large area plasma.This antenna is parallel connected coil system with external capacitor at last coil. Using current flow maximum at resonance, we induce LC resonance in this antenna by varying the external c...

주제어

#Large area plasma Plasma source Antenna Resonance 대면적 플라즈마 플라즈마원 안테나 공명;

참고문헌 (0)

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이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음
저자 이동석
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 물리학과
지도교수 장홍영,Chang, Hong-Young
발행년도 2000
총페이지 iv, 49 p.
키워드 Large area plasma Plasma source Antenna Resonance 대면적 플라즈마 플라즈마원 안테나 공명
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10515585&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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