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학위논문 상세정보

밀리구조물의 다자유도 변위 측정 장치

Multi Degrees of Freedom Displacement Measurement System for Milli-structure


배의원 (한국과학기술원 기계공학전공 국내석사)
Abstract

A Multi degrees of freedom displacement measurement system that is applicable to milli-structure is proposed. The principle of measurement is based on Optical Beam Deflection Method(OBDM), triangulation, and diffraction grating. A laser beam incident on a diffraction grating reflects the beam on sev...

주제어

#Multi-DOF, OBDM, dispalcement measurement, diffraction grating, milli-structure 다자유도, 광선편향법, 변위측정, 회절격자, 밀리구조물;

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저자 배의원
학위수여기관 한국과학기술원
학위구분 국내석사
학과 기계공학전공
지도교수 김수현,Kim, Soo-Hyun
발행년도 2001
총페이지 vi, 58 p.
키워드 Multi-DOF, OBDM, dispalcement measurement, diffraction grating, milli-structure 다자유도, 광선편향법, 변위측정, 회절격자, 밀리구조물
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T10515712&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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DOI 인용 스타일