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지금까지 FPD Aligner의 정렬정도 향상을 위한 기구적 설계기술 개발 관련하여 다양한 검토를 하였다. 상기 검토된 설계 기술의 결과를 이용하여 LCD 제조공정의 7세대용 Color Filter Aligner를 제작하였으며, 사업 현장에서 양산 중에 있다.
본 기술은 최종 정렬 정도 ± 2㎛ 실현과 분당 42inch LCD 패널을 8매씨 생산할 수 있는 고성능 Aligner이다. 또한 Work Chuck(10)의 평탄도를 40㎛ 이내로 유지함으로써 Line & Space 10㎛의 고정도 Pattern을 생성할 수 있게 되었다.
서론에서도 언급하였지만, 본 기술은 지금까지 해외 몇몇 선진 업체에서 독점 하였으며, 국내 제조 회사들은 수입에 의존하여야 하였다. 또한, 공정 장비를 해외에 의존함으로써 공정기술이 해외에 유출되는 것을 방지할 수 있게 되었다.
현재 대만의 LCD 제조 기술은 국내에서 수년에 걸쳐 수 천억원의 막대한 자금을 투입하여 개발한 공정 기술이 그대로 핵심 장비를 통해 유출되었다고 보아도 과언은 아닐 것이다. 2000년대에 들어 중국의 산업 발전은 급속히 진행되고 있으며, 머지않아 LCD제조 기술이 중국으로 넘어가게 될 것은 자명한 일이다.
이런 점에서 늦었지만, 지금이라도 이러한 기술이 국내에서 개발 되었다는 것은 국내 산업 발전에 큰 기여를 하였다고 볼 수 있을 것이다.
그럼에도 불구하고, 아쉬운 점도 많다. ...
저자 | 차상환 |
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학위수여기관 | 아주대학교 산업대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 |
지도교수 | 유승현 |
발행연도 | 2006 |
총페이지 | ⅴ, 41 p. |
키워드 | FPD Aligner 설계기술 정렬정도 Aligner 평판디스플레이 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T10879293&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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