생산 시스템에 사용되는 장비가 더욱 자동화되면서, 센서를 사용한 각종 계측의 활용도는 지속적으로 증가하고 있다. 그 중 습도제어는 정밀공업, 섬유, 식품산업 및 전자산업 등 많은 영역에서 그 중요성이 인식되고 있으며, 고성능, 저가격 및 장수명의 안정된 습도센서 개발이 요구되었다. 본 연구에서는 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 질화탄소막을 여러 가지 조건으로 형성하고 감습 측정장치를 사용하여 각각의 ...
생산 시스템에 사용되는 장비가 더욱 자동화되면서, 센서를 사용한 각종 계측의 활용도는 지속적으로 증가하고 있다. 그 중 습도제어는 정밀공업, 섬유, 식품산업 및 전자산업 등 많은 영역에서 그 중요성이 인식되고 있으며, 고성능, 저가격 및 장수명의 안정된 습도센서 개발이 요구되었다. 본 연구에서는 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 질화탄소막을 여러 가지 조건으로 형성하고 감습 측정장치를 사용하여 각각의 상대습도에 대하여 감습특성을 측정하였다. 감습특성이 좋은 조건을 찾기 위하여 기판의 종류, N2/Ar의 비, 질화탄소막의 증착 시간, 질화탄소막의 감습 면적을 달리하여 습도센서를 제작하였다. 각각의 기판의 거칠기를 알아보기 위하여 AFM으로 분석하였고, N2/Ar의 비에 따른 막의 화학적 특성을 보기 위하여 FTIR, EDS로 분석하였다. 그리고 증착시간에 따른 막의 두께를 알아보기 위하여 SEM으로 조사하였다. 본 연구 결과 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치로 증착된 질화탄소막은 상대습도에 따라 감습특성을 보였고, 제조 조건에 따라서 약간의 차이를 보였지만 좋은 습도센서의 재료로 사용할 수 있는 가능성을 보였다.
생산 시스템에 사용되는 장비가 더욱 자동화되면서, 센서를 사용한 각종 계측의 활용도는 지속적으로 증가하고 있다. 그 중 습도제어는 정밀공업, 섬유, 식품산업 및 전자산업 등 많은 영역에서 그 중요성이 인식되고 있으며, 고성능, 저가격 및 장수명의 안정된 습도센서 개발이 요구되었다. 본 연구에서는 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 질화탄소막을 여러 가지 조건으로 형성하고 감습 측정장치를 사용하여 각각의 상대습도에 대하여 감습특성을 측정하였다. 감습특성이 좋은 조건을 찾기 위하여 기판의 종류, N2/Ar의 비, 질화탄소막의 증착 시간, 질화탄소막의 감습 면적을 달리하여 습도센서를 제작하였다. 각각의 기판의 거칠기를 알아보기 위하여 AFM으로 분석하였고, N2/Ar의 비에 따른 막의 화학적 특성을 보기 위하여 FTIR, EDS로 분석하였다. 그리고 증착시간에 따른 막의 두께를 알아보기 위하여 SEM으로 조사하였다. 본 연구 결과 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치로 증착된 질화탄소막은 상대습도에 따라 감습특성을 보였고, 제조 조건에 따라서 약간의 차이를 보였지만 좋은 습도센서의 재료로 사용할 수 있는 가능성을 보였다.
Carbon nitride films were deposited by reactive rf magnetron sputtering method with many different conditions and the humidity sensing properties of the films were measured as a function of relative humidity. To find optimum fabrication conditions we investigated affection of some factors; substrate...
Carbon nitride films were deposited by reactive rf magnetron sputtering method with many different conditions and the humidity sensing properties of the films were measured as a function of relative humidity. To find optimum fabrication conditions we investigated affection of some factors; substrate types, N2/Ar ratio, deposition time and the area of the films. Fourier transform infrared(FTIR) absorption spectra and EDS are included for revealing the bonding structures and chemical composition of the films. The morphology of the films is analyzed by scanning electron microscopy. Scanning probe microscopy(SPM) with a contact atomic force microscopy(AFM) mode and SEM are used to measure the surface roughness and to observe the surface topography of the films. The sensors had a good sensitivity and linearity in wide range of relative humidity. We can see that CNx films can be used for dew point sensors and MEMS based or Si based micro-humidity sensors by conventional semiconductor fabrication technology.
Carbon nitride films were deposited by reactive rf magnetron sputtering method with many different conditions and the humidity sensing properties of the films were measured as a function of relative humidity. To find optimum fabrication conditions we investigated affection of some factors; substrate types, N2/Ar ratio, deposition time and the area of the films. Fourier transform infrared(FTIR) absorption spectra and EDS are included for revealing the bonding structures and chemical composition of the films. The morphology of the films is analyzed by scanning electron microscopy. Scanning probe microscopy(SPM) with a contact atomic force microscopy(AFM) mode and SEM are used to measure the surface roughness and to observe the surface topography of the films. The sensors had a good sensitivity and linearity in wide range of relative humidity. We can see that CNx films can be used for dew point sensors and MEMS based or Si based micro-humidity sensors by conventional semiconductor fabrication technology.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.