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지금 세계는 화석에너지 고갈, 지구온난화, 기후변화 등의 문제에 직면하고 있어 에너지 절감 대책 및 에너지 개발에 관심을 집중하고 있다. 신재생에너지 중 태양에너지는 무한에너지이며, 청정에너지이다. 이 태양에너지의 원천인 태양광은 자외선, 가시광선, 적외선으로 구성되어 있으며 이를 선택적으로 투과 또는 차단하는 조절 기능을 부여하면 에너지 절약형 기능성 소재개발이 가능하다. 자외선차단 기능을 지닌 TiO2를 ALD 공정으로 ...

지금 세계는 화석에너지 고갈, 지구온난화, 기후변화 등의 문제에 직면하고 있어 에너지 절감 대책 및 에너지 개발에 관심을 집중하고 있다. 신재생에너지 중 태양에너지는 무한에너지이며, 청정에너지이다. 이 태양에너지의 원천인 태양광은 자외선, 가시광선, 적외선으로 구성되어 있으며 이를 선택적으로 투과 또는 차단하는 조절 기능을 부여하면 에너지 절약형 기능성 소재개발이 가능하다. 자외선차단 기능을 지닌 TiO2를 ALD 공정으로 쿼츠 기판에 10, 20, 30, 40, 50 ㎚ 두께의 TiO2박막으로 제조하여 XRD 분석과 UV-VIS-NIR 분석을 통해 인체에 유해한 단파장 자외선을 효과적으로 차단하고 가시광선의 우수한 투과율을 지닌 나노박막을 제조하였다. 또한 반도체 배선재료로서 사용되고 있는 니켈실리사이드의 적외선 차단 기능을 확인하기 위해 열증착기와 급속열처리를 이용하여 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 기판에 니켈실리사이드를 제조하였다. 비교 실험을 위해 적외선 차단효과가 우수한 ITO를 스퍼터를 이용하여 단결정 실리콘 기판에 10, 20, 30, 40, 50 ㎚ 두께의 ITO 박막을 제조하였다. 이 박막들을 XRD 측정분석과 UV-VIS-NIR 측정기와 FT-IR 분광기 분석을 실시하였고 사점면저항 측정 분석을 통해 다결정 실리콘에 1000℃ 고온에서 형성된 니켈실리사이드(NiSi2)가 적외선을 가장 효과적으로 차단함을 알 수 있었다. 나노급 TiO2, 니켈실리사이드를 이용하여 가시광선은 투과하면서도 자외선과 적외선을 차단하는 기능성 박막을 성공적으로 제조하여 에너지 절약 소재로 활용 가능성을 확인하였다.

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