잉크젯 패터닝이란 잉크젯 헤드와 적절한 잉크를 사용하여 원하는 위치에 미세한 Ink drop을 분사하여 기판위에 패턴을 직접 형성하는 기술을 의미한다. 잉크젯 패터닝은 기판 상의 원하는 위치에 패턴을 직접 형성하기 때문에 기존 의 인쇄 , 노광, 현상, 에칭 등의 공정을 대폭 줄일 수 있는 혁신적인 기술이 며, 대형화 및 다기종 대응에 유리하다는 장점을 가지고 있다.
최근 잉크젯에서 이슈는 크게 네 가지 (...
잉크젯 패터닝이란 잉크젯 헤드와 적절한 잉크를 사용하여 원하는 위치에 미세한 Ink drop을 분사하여 기판위에 패턴을 직접 형성하는 기술을 의미한다. 잉크젯 패터닝은 기판 상의 원하는 위치에 패턴을 직접 형성하기 때문에 기존 의 인쇄 , 노광, 현상, 에칭 등의 공정을 대폭 줄일 수 있는 혁신적인 기술이 며, 대형화 및 다기종 대응에 유리하다는 장점을 가지고 있다.
최근 잉크젯에서 이슈는 크게 네 가지 (Wetting control, Patterning, Inkjet-head, Equipment)가 있다. 특히, 잉크젯 패터닝 전처리 공정인 Wetting control은 중 요하다. Drop-on-Demand 방식으로 분사된 잉크는 표면에 따라 민감하게 반응 하기 때문이다. 따라서 젖음성 제어(Wetting control)를 위해서 친수성 (Hydrophillic), 소수성(Hydrophobic) 표면처리에 대한 연구가 선행되어야 한다. 하지만 표면처리 분야에서 현재 잉크젯과 연계된 연구는 미흡한 실정이다.
따라서, 본 논문에서는 잉크젯에서의 표면처리가 미세패턴의 해상도에 어떠 한 영향을 있는지에 대해 연구를 진행하였다. 연구내용으로, 표면처리는 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법을 선정하였고, 최적 공정조건을 찾는 방법으로 실험계획법을 이용하였으며, 추정된 반응 표면 모 형식으로부터 최적 공정조건을 제시하였다.
그리고 플라즈마 공정 조건으로부터 표면처리된 박막에 대하여 표면형태 관 측과 화학 분석을 진행하였다. 소수성 박막의 표면형태를 관측할 수 있었고, 소수성 표면이 가지는 화학적 조성과 결합상을 확인하였다.
위의 실험결과로부터 기판의 종류에 따른 표면처리 최적공정조건을 제시하 였고, 추정된 2차 반응표면 모형식으로 다양한 잉크젯 해상도를 갖는 기판을 만들 수 있음을 확인하였다.
잉크젯 패터닝이란 잉크젯 헤드와 적절한 잉크를 사용하여 원하는 위치에 미세한 Ink drop을 분사하여 기판위에 패턴을 직접 형성하는 기술을 의미한다. 잉크젯 패터닝은 기판 상의 원하는 위치에 패턴을 직접 형성하기 때문에 기존 의 인쇄 , 노광, 현상, 에칭 등의 공정을 대폭 줄일 수 있는 혁신적인 기술이 며, 대형화 및 다기종 대응에 유리하다는 장점을 가지고 있다.
최근 잉크젯에서 이슈는 크게 네 가지 (Wetting control, Patterning, Inkjet-head, Equipment)가 있다. 특히, 잉크젯 패터닝 전처리 공정인 Wetting control은 중 요하다. Drop-on-Demand 방식으로 분사된 잉크는 표면에 따라 민감하게 반응 하기 때문이다. 따라서 젖음성 제어(Wetting control)를 위해서 친수성 (Hydrophillic), 소수성(Hydrophobic) 표면처리에 대한 연구가 선행되어야 한다. 하지만 표면처리 분야에서 현재 잉크젯과 연계된 연구는 미흡한 실정이다.
따라서, 본 논문에서는 잉크젯에서의 표면처리가 미세패턴의 해상도에 어떠 한 영향을 있는지에 대해 연구를 진행하였다. 연구내용으로, 표면처리는 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법을 선정하였고, 최적 공정조건을 찾는 방법으로 실험계획법을 이용하였으며, 추정된 반응 표면 모 형식으로부터 최적 공정조건을 제시하였다.
그리고 플라즈마 공정 조건으로부터 표면처리된 박막에 대하여 표면형태 관 측과 화학 분석을 진행하였다. 소수성 박막의 표면형태를 관측할 수 있었고, 소수성 표면이 가지는 화학적 조성과 결합상을 확인하였다.
위의 실험결과로부터 기판의 종류에 따른 표면처리 최적공정조건을 제시하 였고, 추정된 2차 반응표면 모형식으로 다양한 잉크젯 해상도를 갖는 기판을 만들 수 있음을 확인하였다.
We present an experimental study on the resolution of inkjet-printed fine patterns deposited on two different solid substrates: glass and polyimide. We are particularly concerned with the effect of plasma surface polymerization on the drop diameter and uniformity deposited on the substrates. DOE (De...
We present an experimental study on the resolution of inkjet-printed fine patterns deposited on two different solid substrates: glass and polyimide. We are particularly concerned with the effect of plasma surface polymerization on the drop diameter and uniformity deposited on the substrates. DOE (Design of Experiments) technique was used to investigate the statistically significant variables among five process variables such as plasma power, gas pressure, process time, gap between electrodes, and temperature. For each substrate, we generated the 2nd-order response surface model from which we can find out the optimum condition to minimize the pattern resolution as well as the effect of each variable. From the surface analysis, we also found that as the amount of fluorine functional group on the surface increases, the hydrophobicity increases while the surface energy decreases, resulting in improving the resolution.
We present an experimental study on the resolution of inkjet-printed fine patterns deposited on two different solid substrates: glass and polyimide. We are particularly concerned with the effect of plasma surface polymerization on the drop diameter and uniformity deposited on the substrates. DOE (Design of Experiments) technique was used to investigate the statistically significant variables among five process variables such as plasma power, gas pressure, process time, gap between electrodes, and temperature. For each substrate, we generated the 2nd-order response surface model from which we can find out the optimum condition to minimize the pattern resolution as well as the effect of each variable. From the surface analysis, we also found that as the amount of fluorine functional group on the surface increases, the hydrophobicity increases while the surface energy decreases, resulting in improving the resolution.
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