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타이타늄 합금에 플라즈마 이온 확산 방법으로 형성된 TiCN 박막층의 특성
Characteristics of TiCN layer formed on Ti alloys by Plasma ion diffusion process 원문보기


김강후 (전남대학교 대학원 신소재공학과 국내석사)

초록
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본 연구에서는 CP-Ti, Ti-6Al-4V 합금, Ti-10Ta-10Nb 합금에 C와 N을 포함하는 플라즈마를 반응시켜 탄질화층(TiCN) 박막 증착을 하였다. 공정 변수로는 탄질화 공정온도는 750℃, 800℃, 850℃로 하였으며 공정압력 1.0Torr, 알곤 : 질소 : 메탄가스 유량비를 6 : 13 : 1, pulse power 2.3Kw로 고정시키고 실험을 실시하여 탄질화를 하였으며, 탄질화공정 온도변수가 탄질화층의 특성에 미치는 영...

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

To improve the wear resistance of titanium alloys, many scientists have been focusing on the surface treatment studies. One of the surface treatment methods is the penetration of nitrogen and carbon into titanium alloys to form intermetallic film on it using plasma ion diffusion processing, but it i...

주제어

#TiCN Titanium alloy Carbonitriding 

학위논문 정보

저자 김강후
학위수여기관 전남대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 신소재공학과
지도교수 이도재
발행연도 2008
총페이지 62 p
키워드 TiCN Titanium alloy Carbonitriding
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T11333279&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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