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AIP에 의한 TiN, TiAlN 박막의 물리적 특성 및 부식특성 연구
Study of Physical Properties and Corrosion characteristic of TiN, TiAlN film by AIP 원문보기


정상배 (전남대학교 대학원 신소재공학과 국내석사)

초록
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일반적으로 Ion-Plating법에 의해 형성된 경질 박막은 종래의 진공증착이나 습식 도금에 비하여 밀착력이 뛰어나며, glow discharge에 의한 활성화 효과로 균일한 화합물 막을 쉽게 얻을 수 있어 제품의 수명향상을 위한 표면처리로서 많은 연구가 진행되고 있다. 다이캐스팅 ...

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In general, thin films by ion-plating have a good property such as adhesion, hardness compared to other plasma and wet process. Thus the studies which are to enhance the lifetime of product have been progressed to achieve the uniform films using the active effect by glow discharge. STD61 is a versat...

주제어

#TiN TiAlN 

학위논문 정보

저자 정상배
학위수여기관 전남대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 신소재공학과
지도교수 홍성길
발행연도 2008
총페이지 65 p.
키워드 TiN TiAlN
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T11333332&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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