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NTIS 바로가기본 논문은 종래의 초음파 세정장치로서의 구동기는 28kHz에서 100kHz이하의 주파수대역이 사용되어지고 있다. 이중 spray방식의 FPD 관련한 세정장치에서의 문제점인 초음파의 음압 분포도의 불균일성에 의한 Spike pulse 모양의 초음파가 발생하여 표면의 손상을 주고 있다. 이를 보완하기 위하여 근접식 초음파 장치를 구동 할 수 있는 1MHz급의 짧은 파장과 고출력의 음압을 출력할 수 있으며 압전 ...
저자 | 김득만 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 산업기술·경영대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 메카트로닉스공학과 |
지도교수 | 강대진 |
발행연도 | 2008 |
총페이지 | viii, 73 p. |
키워드 | 초음파 액츄에이터 구동기 임피던스매칭 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11404908&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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