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본 연구에서는 트라이오드 구조의 CNT 이온화 가스 센서를 설계하여 제작하였다. TCVD 법으로 합성시킨 CNT 전극으로부터 전계 방출 특성을 평가하고 전계 방출된 전자와 가스 분자 사이에 충돌 이온화에 의한 전기적 특성을 평가하였다.
제작된 가스 센서는 트라이오드 구조로써 g...
In this study, we fabricated high sensitive CNT ionization gas sensors with triode structure. We analyzed CNT structure synthesized by thermal CVD and electron field emission from CNT electrodes and ionization property for different gases by the electron field emission under the high electrical fiel...
저자 | 최영민 |
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학위수여기관 | 경남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자공학과 |
지도교수 | 김성진 |
발행연도 | 2009 |
총페이지 | v, 49 p. |
키워드 | 이온화 가스 센서 탄소 나노튜브 트라이오드 구조 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11559383&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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