본 논문에서는 Micro Electro Mechanical System 기술로 개발된 가속도 sensor를 이용해서 Tilt sensor module을 개발 하였다. MEMS 기술은 반도체 공정 기술과 유사하게 초소형으로 구조물을 제작할 수 있어 크기가 작고, 무게가 가벼워 대량생산이 용이하여 생산 비용이 절감된다는 장점이 있다. 추가적인 성능의 개선과 새로운 기능의 안정적 구현이 중요한 issue이다. 그리고 제작된 구조물이 저전력으로 구동이 가능하다. ...
본 논문에서는 Micro Electro Mechanical System 기술로 개발된 가속도 sensor를 이용해서 Tilt sensor module을 개발 하였다. MEMS 기술은 반도체 공정 기술과 유사하게 초소형으로 구조물을 제작할 수 있어 크기가 작고, 무게가 가벼워 대량생산이 용이하여 생산 비용이 절감된다는 장점이 있다. 추가적인 성능의 개선과 새로운 기능의 안정적 구현이 중요한 issue이다. 그리고 제작된 구조물이 저전력으로 구동이 가능하다. IT, BT, NT, ST 각 분야에 적용이 되어 MEMS 기술을 이용한 응용이 확대될 것으로 예상된다. MEMS 기술의 적용을 위해 MEMS sensor의 연구가 더욱 활발해져야 한다. 본 논문에서 MEMS sensing element는 희생 몸체 미세가공(SBM) 공정[1, 2, 3] 및 Wafer 수준 밀봉 공정을 이용하여 제작된 가속도 sensor로 Tilt sensor module을 개발하였으며, Bluetooth[9] 및 RS-232 interface를 통해서 유·무선 통신으로 기울기 값을 Display 하도록 하였다. 여러 가지 sensor 중에서 기울기 sensor가 변이 감시를 위한 사용되므로 개발한 sensor module을 재난관리 system에 적용하여 경제적·사회적 효과를 기대해 보려고 한다.
본 논문에서는 Micro Electro Mechanical System 기술로 개발된 가속도 sensor를 이용해서 Tilt sensor module을 개발 하였다. MEMS 기술은 반도체 공정 기술과 유사하게 초소형으로 구조물을 제작할 수 있어 크기가 작고, 무게가 가벼워 대량생산이 용이하여 생산 비용이 절감된다는 장점이 있다. 추가적인 성능의 개선과 새로운 기능의 안정적 구현이 중요한 issue이다. 그리고 제작된 구조물이 저전력으로 구동이 가능하다. IT, BT, NT, ST 각 분야에 적용이 되어 MEMS 기술을 이용한 응용이 확대될 것으로 예상된다. MEMS 기술의 적용을 위해 MEMS sensor의 연구가 더욱 활발해져야 한다. 본 논문에서 MEMS sensing element는 희생 몸체 미세가공(SBM) 공정[1, 2, 3] 및 Wafer 수준 밀봉 공정을 이용하여 제작된 가속도 sensor로 Tilt sensor module을 개발하였으며, Bluetooth[9] 및 RS-232 interface를 통해서 유·무선 통신으로 기울기 값을 Display 하도록 하였다. 여러 가지 sensor 중에서 기울기 sensor가 변이 감시를 위한 사용되므로 개발한 sensor module을 재난관리 system에 적용하여 경제적·사회적 효과를 기대해 보려고 한다.
In this thesis, a new tilt sensor modules are presented. The tilt sensor is composed of accelerometers which are developed Micro Electro Mechanical System technology. One of the merits of MEMS technology is that make products with low cost. Like semiconductor fabrication processes, we can make small...
In this thesis, a new tilt sensor modules are presented. The tilt sensor is composed of accelerometers which are developed Micro Electro Mechanical System technology. One of the merits of MEMS technology is that make products with low cost. Like semiconductor fabrication processes, we can make small and light structures with mass production. Additional performance improvements and reliable realization of new functions are important issues. And the fabricated structures are movable with low driving power. We expect that the expanding application of MEMS technology for Information Technologies, Bio Technologies, Nano Technologies and Space Technologies. The MEMS sensor researches should be accelerated for the expanding uses of mems technology. The MEMS acceleration sensing elements as a part of tile sensor module were fabricated by the Sacrificial Bulk Micromachinging(SBM) process and wafer level hermetic packaging(WLHP) process. The tilt angle is sended and displayed by wire and wireless communication using Bluetooth and RS-232 interface. We expect economic and social effects using Tilt sensor module applied to Disaster management system, because the Tilt sensor module can be used for displacement monitoring.
In this thesis, a new tilt sensor modules are presented. The tilt sensor is composed of accelerometers which are developed Micro Electro Mechanical System technology. One of the merits of MEMS technology is that make products with low cost. Like semiconductor fabrication processes, we can make small and light structures with mass production. Additional performance improvements and reliable realization of new functions are important issues. And the fabricated structures are movable with low driving power. We expect that the expanding application of MEMS technology for Information Technologies, Bio Technologies, Nano Technologies and Space Technologies. The MEMS sensor researches should be accelerated for the expanding uses of mems technology. The MEMS acceleration sensing elements as a part of tile sensor module were fabricated by the Sacrificial Bulk Micromachinging(SBM) process and wafer level hermetic packaging(WLHP) process. The tilt angle is sended and displayed by wire and wireless communication using Bluetooth and RS-232 interface. We expect economic and social effects using Tilt sensor module applied to Disaster management system, because the Tilt sensor module can be used for displacement monitoring.
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