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NTIS 바로가기1980년대 중반 이후 포토 리소그래피는 머지않아 한계에 부딪히게 될 것이라고 예상되어 왔으나, 새로운 기술의 개발로 그 한계를 극복해 왔다. 나노스피어 리소그래피도 그 방법들 중 하나이다. 나노스피어 리소그래피는 콜로이드 입자의 자기조립을 이용한 나노패터닝 기술로 자기조립은 원자간 공유결합혹은 분자 상호인력에 의하여 자발적으로 나노구조를 형성하여 특정 구조를 이루어 이들이 새로운 물성을 발휘하는 현상이다. 다른 리소그래피에 비해 나노스피어 리소그래피가 갖는 장점은 첫째, 나노크기의 패턴을 제작하는데 비용 효율이 높다. 적은 양의 콜로이드 분산으로 규칙적인 콜로이드 정렬을 만들 수 있으며, 상대적으로 적은 비용으로 이용할 수 있다. 둘째, 다른 리소그래피 공정보다 나노스피어 리소그래피는 간단한 공정으로 이루어진다. spin-coating이나 dip-coating을 이용하여 자기 조립막을 쉽게 형성할 수 있다. 섯째, 콜로이드 입자의 크기를 변화하여 구조의 크기를 쉽게 바꿀 수 있다. 넷째, 나노스피어 리소그래피를 이용하여 복잡한 ...
저자 | 양회영 |
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학위수여기관 | 전남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 광공학협동과정 |
지도교수 | 이현용 |
발행연도 | 2010 |
총페이지 | ⅳ, 28 p. |
키워드 | Lithography |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11930361&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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