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1980년대 중반 이후 포토 리소그래피는 머지않아 한계에 부딪히게 될 것이라고 예상되어 왔으나, 새로운 기술의 개발로 그 한계를 극복해 왔다. 나노스피어 리소그래피도 그 방법들 중 하나이다. 나노스피어 리소그래피는 콜로이드 입자의 자기조립을 이용한 나노패터닝 기술로 자기조립은 원자간 공유결합혹은 분자 상호인력에 의하여 자발적으로 나노구조를 형성하여 특정 구조를 이루어 이들이 새로운 물성을 발휘하는 현상이다. 다른 리소그래피에 비해 나노스피어 리소그래피가 갖는 장점은 첫째, 나노크기의 패턴을 제작하는데 비용 효율이 높다. 적은 양의 콜로이드 분산으로 규칙적인 콜로이드 정렬을 만들 수 있으며, 상대적으로 적은 비용으로 이용할 수 있다. 둘째, 다른 리소그래피 공정보다 나노스피어 리소그래피는 간단한 공정으로 이루어진다. spin-coating이나 dip-coating을 이용하여 자기 조립막을 쉽게 형성할 수 있다. 섯째, 콜로이드 입자의 크기를 변화하여 구조의 크기를 쉽게 바꿀 수 있다. 넷째, 나노스피어 리소그래피를 이용하여 복잡한 ...

1980년대 중반 이후 포토 리소그래피는 머지않아 한계에 부딪히게 될 것이라고 예상되어 왔으나, 새로운 기술의 개발로 그 한계를 극복해 왔다. 나노스피어 리소그래피도 그 방법들 중 하나이다. 나노스피어 리소그래피는 콜로이드 입자의 자기조립을 이용한 나노패터닝 기술로 자기조립은 원자간 공유결합혹은 분자 상호인력에 의하여 자발적으로 나노구조를 형성하여 특정 구조를 이루어 이들이 새로운 물성을 발휘하는 현상이다. 다른 리소그래피에 비해 나노스피어 리소그래피가 갖는 장점은 첫째, 나노크기의 패턴을 제작하는데 비용 효율이 높다. 적은 양의 콜로이드 분산으로 규칙적인 콜로이드 정렬을 만들 수 있으며, 상대적으로 적은 비용으로 이용할 수 있다. 둘째, 다른 리소그래피 공정보다 나노스피어 리소그래피는 간단한 공정으로 이루어진다. spin-coating이나 dip-coating을 이용하여 자기 조립막을 쉽게 형성할 수 있다. 섯째, 콜로이드 입자의 크기를 변화하여 구조의 크기를 쉽게 바꿀 수 있다. 넷째, 나노스피어 리소그래피를 이용하여 복잡한 3차원 구조를 만들 수 있다. 본 연구에서는 나노스피어 리소그래피를 응용한 2차원 광자결정 패터닝을 연구 하였다. 실험에 사용된 나노스피어의 크기는 1㎛, 500㎚이며 크기를 조절하기 위하여 RIE장비를 사용하였다. 또한 박막을 증착하기 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하였다. 실험 결과 단일막으로 형성된 나노스피어를 이용하여 다양한 2차원 광자결정 패터닝이 가능함을 확인할 수 있었다.

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