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부유 고조화 탐침법은 플라즈마내의 전자분포가 열 평형 상태에 있다고 가정한다. 플라즈마내 전자분포가 비 열평형 상태일때 부유 고조화 탐침법에 미치는 영향을 분석하기 위해, 부유 전위에서의 전자 에너지 분포 함수의 기울기를 측정하였다. 전자 에너지 분포 함수의 기울기로부터 측정된 전자온도를 부유 고조화 탐침법으로 측정한 전자온도를 비교해 보았다. 작은 차이가 관찰되었다. 2ω,3ω 조화 전류를 이용한 새로운 방법이 고안 되었다. 새롭게 고안된 방법으로 측정한 전자온도는 전자 에너지 분포 함수의 기울기로부터 측정한 전자온도와 일치하였다. 이 방법으로 ...

부유 고조화 탐침법은 플라즈마내의 전자분포가 열 평형 상태에 있다고 가정한다. 플라즈마내 전자분포가 비 열평형 상태일때 부유 고조화 탐침법에 미치는 영향을 분석하기 위해, 부유 전위에서의 전자 에너지 분포 함수의 기울기를 측정하였다. 전자 에너지 분포 함수의 기울기로부터 측정된 전자온도를 부유 고조화 탐침법으로 측정한 전자온도를 비교해 보았다. 작은 차이가 관찰되었다. 2ω,3ω 조화 전류를 이용한 새로운 방법이 고안 되었다. 새롭게 고안된 방법으로 측정한 전자온도는 전자 에너지 분포 함수의 기울기로부터 측정한 전자온도와 일치하였다. 이 방법으로 적분을 통한 전자 에너지 분포 함수를 얻을 수 있었다. 부유 고조화 탐침법으로 전자 에너지 분포를 측정하는 방법또한 고안되었다. 새롭게 고안된 방법들을 다양한 조건과 환경에서 측정해 보았고, 그 결과를 확인할 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper

The floating harmonics method applicable to measure electron temperature in processing plasmas assumes that electrons are in a Maxwellian distribution. To investigate the effect of non-Maxwellian electron distributions to the floating harmonics method, the electron energy distribution functions (EED...

The floating harmonics method applicable to measure electron temperature in processing plasmas assumes that electrons are in a Maxwellian distribution. To investigate the effect of non-Maxwellian electron distributions to the floating harmonics method, the electron energy distribution functions (EEDFs) were measured. The electron temperatures from the EEDFs at floating potentials were compared with those from the floating harmonics method. Slight discrepancies between them were observed. A new approach to address this was proposed using the second harmonics and third harmonics of the probe current and was compared. Using this, electron energy distributions were obtained through integration instead of differentiation. The ratio of the difference between the electron temperatures measured by the conventional method and new method was proposed as an important factor for the floating harmonics method to distinguish electron distributions.

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