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NTIS 바로가기오늘날 반도체 기술 분야가 직면하고 있는 문제들은 공정 단위별 또는 일부파라미터 데이터를 이용하여 통계적 품질 관리를 통해 제품의 이상을 감지하고 사후 처리를 하여 해결하는 것만으로는 만족스럽지 않다. 또한, 이제는 과거 40 여 년간 지켜왔던 디바이스 축소에 관한 스케일 법칙도 한계에 다다랐다. 이렇게 너무도 작아진 디바이스의 제조 공정에서 직면하고 있는 복합적인 문제는 단순한 하드웨어적인 대응뿐만 아니라 종합적이고 전체론적인 해결책을 요구하게 되었다. 복합적인 공정 진행에 대한 정확한 진단과 예측을 통해 생산 제품에 대한 불량률을 줄이고 제품의 상태에 따라 최적화된 ...
저자 | 김현진 |
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학위수여기관 | 고려대학교 정책대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 데이터정보학과 |
지도교수 | 구자용 |
발행연도 | 2010 |
총페이지 | 43장 |
키워드 | MARS 다중 회귀 분석 반도체 식각 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12167411&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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