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Nb-doped TiO2 투명 전극의 급속 열처리에 따른 특성 연구 : Study on Characteristics of Nb-doped TiO2 Transparent Conducting Electrode by Rapid Thermal Annealing 원문보기


박준혁 (경희대학교 화학공학과 국내석사)

초록
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본 실험에서는 Nb이 도핑된 TiO₂(NTO)단일막과 NTO층 사이에 얇은 Ag층을 삽입한 다층 구조의 두 가지 투명 전극 재료를 유리 기판상에 rf/dc 마그네트론 스퍼터링 시스템으로 증착하고 급속 열처리 효과에 따른 전기적, 광학적, 구조적 특성을 연구하였다. NTO 단일막의 경우 진공 분위기에서 급속 열처리 온도가 증가함에 따라 전기적, 광학적 특성이 향상되었다. 600˚C의 급속 열처리 온도에서 82 ohm/square의 ...

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have investigated the electrical, optical, structural properties of Nb-doped TiO₂ transparent electrode as a function of rapid thermal annealing. Indium-free anatase Nb-doped TiO₂ (NTO) electrode is demonstrated as a promising substitute of high-cost Sn-doped In₂O₃ films for cost-efficient organi...

주제어

#투명전극  #급속 열처리  #TiO2 

학위논문 정보

저자 박준혁
학위수여기관 경희대학교
학위구분 국내석사
학과 화학공학과
지도교수 김한기,김성수
발행연도 2011
총페이지 88 p.
키워드 투명전극, 급속 열처리, TiO2
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T12312445&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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