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NTIS 바로가기국내 반도체산업이 고속성장을 하며 국가경제를 이끄는 첨단 기술이다. 하지만 첨단기술로 만들어지는 반도체제조 공정과 발생되는 물질을 분석하여 보면 많은 환경저해요소를 지니고 있다. 환경보호 차원에서보면 반도체 제조공정에서 나오는 환경유해물질의 사용량 감소를 위한 근본적인 대책마련 및 사후처리와 폐기물에 대한 철저한 관리 및 환경 친화적인 기술개발이 중요하다. 따라서, 이러한 유해물질을 함유하고 배출되는 방류전에 안전하게 처리되어야만 하고, 가능하면 재사용하여 전체 용수의 사용을 저감하여야한다. 또 한, 수자원의 사용을 극대화하는 차원에서 질소계 폐수에 대한 처리 기술이 시급한 실정이다. 본 논문에서는 세가지 오염물질은 반도체 폐수의 ...
저자 | 정의택 |
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학위수여기관 | 한양대학교 공학대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 환경공학과 수질 전공 |
발행연도 | 2011 |
총페이지 | vii, 45 p. |
키워드 | 환경공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12335089&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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