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NTIS 바로가기Studies of ultra-thin films (thickness < 50 nm) are important for nanotechnology such as metallization in futuristic nano-scale or giga-scale integration (GSI). Ultra-thin aluminum (Al) and tin (Sn) films were grown by dc magnetron sputtering on a glass substrate. The electrical resistance R of film...
저자 | 권나현 |
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학위수여기관 | 부산대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 재료공학과 |
발행연도 | 2011 |
총페이지 | 67 장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12500109&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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